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公开(公告)号：CN102714172A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180005811.5
申请日：2011-02-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/68785 , H01L21/68792
Abstract: 本发明提供一种载置台构造，其设置于能够进行排气的处理容器内，用于载置要处理的被处理体，该载置台构造的特征在于，具备：载置台，其用于载置所述被处理体，至少设置有加热单元，由电介质形成；和支柱，其为了支承所述载置台而从所述处理容器的底部侧竖起地设置，并且上端部与所述载置台的下表面连结，在内部具有沿着长度方向形成的多个贯通孔，且由电介质形成。
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公开(公告)号：CN102668060A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080055569.8
申请日：2010-12-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/68742 , C23C16/4586 , H01L21/67109 , H01L21/68785
Abstract: 本发明涉及设置于能够进行排气的处理容器内并用于载置应处理的被处理体的载置台构造。本发明的载置台构造包括：载置台，在板状的载置台主体上支承用于载置所述被处理体的热扩散板，并且在所述载置台主体与所述热扩散板的交界部分设置气体扩散室；设置于所述载置台的加热单元；一个或者多个支柱管，用于支承所述载置台，从所述处理容器的底部立起设置，其上端部与所述载置台的下表面连接，并且与所述气体扩散室连通，流过吹扫气体；载置台罩部件，其以覆盖所述载置台主体的侧面和下表面的方式设置；和支柱管罩部件，其包围所述支柱管的周围，并且上端部与所述载置台罩部件连结，从所述气体扩散室向下方引导流过所述载置台主体与所述载置台罩部件之间的间隙的所述吹扫气体，使所述吹扫气体从气体出口排出。
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公开(公告)号：CN119061379A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410631091.2
申请日：2024-05-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 长冈秀树
IPC: C23C16/455 , C23C16/44 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种能够抑制自由基化了的气体的失活的技术。喷淋头具备结构体、第一扩散室、第二扩散室以及多个筒部。此外，喷淋头具备设置于结构体的排出面上并与第一扩散室连通而排出第一气体的多个第一排出口、以及设置于排出面上与第一排出口不同的位置并与多个筒部的连通孔部连通而排出第二气体的多个第二排出口。此外，喷淋头包括：中央供给室，其在结构体的与厚度方向正交的方向的中央部，与第一扩散室和第二扩散室分开设置，使自由基化了的第三气体流通；和一个以上的第三排出口，其设置在排出面的中央部，与中央供给室连通而排出第三气体。
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公开(公告)号：CN101438091B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN101438091A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12－17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2－6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100454200C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200480016146.X
申请日：2004-06-04
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
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公开(公告)号：CN1313894C
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200410047927.7
申请日：2004-06-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67253 , H01L21/67017 , Y10T137/2499 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8733
Abstract: 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。
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公开(公告)号：CN1282848C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F17D3/00
Abstract: 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QC，根据该计算流量QC与设定流量QS之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1806216A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016146.X
申请日：2004-06-04
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
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公开(公告)号：CN1573632A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410047927.7
申请日：2004-06-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67253 , H01L21/67017 , Y10T137/2499 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8733
Abstract: 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。
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