公开(公告)号：CN101527262A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200910008928.3

申请日：2009-02-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 肥田刚 ,  大藪淳

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/3244 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32724

Abstract: 本发明提供一种能够对整个电极层进行适当的温度控制的电极单元。具备对基板实施等离子体蚀刻的处理室(17)的基板处理装置(10)，具有与载置半导体晶片(W)且向处理室(17)内施加高频电压的基座(12)相对设置的作为上部电极单元的喷淋头(29)，该喷淋头(29)具有从处理室(17)侧依次设置的暴露在处理室(17)内的电极层(32)、加热层(33)以及冷却层(34)，加热层(33)全面覆盖电极层(33)，并且冷却层(34)通过加热层(33)全面覆盖电极层(32)，在加热层(33)以及冷却层(34)之间配置有填充了传热气体的传热层(36)。

公开(公告)号：CN1573632A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410047927.7

申请日：2004-06-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 长冈秀树 ,  小泉浩 ,  大藪淳 ,  嵨津强 ,  远藤宏纪 ,  伊藤惠贵 ,  林大辅

IPC: G05D16/00 ,  G05D7/00 ,  G05D11/00 ,  C23C16/44 ,  C23F4/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/2499 ,  Y10T137/7722 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8733

Abstract: 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。

公开(公告)号：CN101527262B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200910008928.3

申请日：2009-02-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 肥田刚 ,  大藪淳

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/3244 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32724

Abstract: 本发明提供一种能够对整个电极层进行适当的温度控制的电极单元。具备对基板实施等离子体蚀刻的处理室(17)的基板处理装置(10)，具有与载置半导体晶片(W)且向处理室(17)内施加高频电压的基座(12)相对设置的作为上部电极单元的喷淋头(29)，该喷淋头(29)具有从处理室(17)侧依次设置的暴露在处理室(17)内的电极层(32)、加热层(33)以及冷却层(34)，加热层(33)全面覆盖电极层(33)，并且冷却层(34)通过加热层(33)全面覆盖电极层(32)，在加热层(33)以及冷却层(34)之间配置有填充了传热气体的传热层(36)。

公开(公告)号：CN1313894C

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200410047927.7

申请日：2004-06-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 长冈秀树 ,  小泉浩 ,  大藪淳 ,  嵨津强 ,  远藤宏纪 ,  伊藤惠贵

IPC: G05D16/00 ,  G05D7/00 ,  G05D11/00 ,  C23C16/44 ,  C23F4/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/2499 ,  Y10T137/7722 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8733

Abstract: 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。