公开(公告)号：CN118451538A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202280086614.9

申请日：2022-12-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 上田博一 ,  浅野昌史 ,  贝塚考亘 ,  大槻友志 ,  梅原康敏

IPC: H01L21/66 ,  C23C16/505 ,  H01L21/31 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的判定方法包括：对形成有包含凹部的图案，在凹部进行了填埋材料的填埋的基板进行分光测量，测量填埋了填埋材料的基板的吸光度光谱的工序；和基于所测量的基板的吸光度光谱的多个波数下的强度的积分值，判定凹部的填埋状态的工序。

公开(公告)号：CN102007591A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201080001352.9

申请日：2010-01-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 有门经敏 ,  贝塚考亘 ,  赤坂泰志 ,  荆凤德

IPC: H01L21/8242 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/105 ,  H01L27/108

CPC classification number: H01L28/40 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02189 ,  H01L21/022 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3142 ,  H01L21/31641 ,  H01L27/10852

Abstract: 本发明通过提供一种电容器解决上述课题，所述电容器的特征在于，具有：由具有导电性的金属或金属化合物组成的下部电极层；在所述下部电极层上形成的由ZrO2组成的第一介电体膜；在所述第一介电体膜上形成的由具有含Ti的金属氧化物的介电体组成的第二介电体膜；以及，在所述第二介电体膜上形成的上部电极层。