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公开(公告)号：CN118451538A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202280086614.9
申请日：2022-12-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66 , C23C16/505 , H01L21/31 , H01L21/677
Abstract: 本发明的判定方法包括：对形成有包含凹部的图案，在凹部进行了填埋材料的填埋的基板进行分光测量，测量填埋了填埋材料的基板的吸光度光谱的工序；和基于所测量的基板的吸光度光谱的多个波数下的强度的积分值，判定凹部的填埋状态的工序。
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