公开(公告)号：CN114256116A

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202111067797.3

申请日：2021-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 深泽贵光 ,  金丸亮介

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供能够高精度地进行机械臂的示教的输送装置和机械臂的示教方法。输送装置包括：具有臂和使臂旋转的驱动部的机械臂、第一照射部、第一受光部以及控制装置。控制装置执行步骤a)～步骤c)。在步骤a)中，检测从第一照射部照射的光的第一光路不被臂遮挡的状态变化为第一光路被遮挡的状态时的臂的第一回旋角。在步骤b)中，检测从第一光路被臂遮挡的状态变化为第一光路不被臂遮挡的状态时的臂的第二旋转角度。在步骤c)中，基于通过了第一光路的部分的机械臂的宽度、第一光路被遮挡时的第一光路与臂的第一交点的位置、第一旋转角度和第二旋转角度，确定臂的第一旋转轴的位置。

公开(公告)号：CN114078731A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202110912886.7

申请日：2021-08-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 网仓纪彦 ,  北正知 ,  堂込公宏 ,  深泽贵光 ,  林大辅 ,  丰卷俊明

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供运送装置、运送系统和末端执行器，其目的在于能够削减含运送装置在内的系统全体的空间量，运送装置是用于同时或分别运送晶片和具有圆形的外形的消耗品的运送装置，其包括末端执行器、机械臂和控制装置，消耗品能够配置在晶片处理模块内，消耗品的外径比晶片的外径大，在末端执行器以同时或分别载置晶片和消耗品的方式构成，机械臂以使末端执行器移动的方式构成，控制装置在运送消耗品的情况下，控制机械臂，以使得消耗品以消耗品的重心与第一位置一致的方式载置在末端执行器上，此外，控制装置在运送晶片的情况下，控制机械臂，以使得晶片以晶片的重心与第一位置和末端执行器的前端之间的第二位置一致的方式载置在末端执行器上。