公开(公告)号：CN109427627B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN201810958419.6

申请日：2018-08-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 寺冈一大 ,  乌野崇 ,  上村史洋 ,  笠原政俊 ,  须中郁雄 ,  中泽贵士

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种抑制在紧接开始进行处理液的循环之后循环管线内的处理液被污染的液处理装置和液处理方法。实施方式所涉及的液处理装置具备罐、循环管线、泵、过滤器、背压阀以及控制部。罐用于贮存处理液。循环管线用于使从罐送出的处理液返回罐。泵用于形成循环管线中的处理液的循环流。过滤器设置于循环管线中的泵的下游侧。背压阀设置于循环管线中的过滤器的下游侧。控制部控制泵和背压阀。而且，控制部控制泵的喷出压力，以使在开始进行循环管线中的处理液的循环时，泵的喷出压力上升到规定的第一压力，并且在经过规定的时间后，泵的喷出压力增加到比第一压力大的第二压力。

公开(公告)号：CN109427627A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810958419.6

申请日：2018-08-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 寺冈一大 ,  鸟野崇 ,  上村史洋 ,  笠原政俊 ,  须中郁雄 ,  中泽贵士

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种抑制在紧接开始进行处理液的循环之后循环管线内的处理液被污染的液处理装置和液处理方法。实施方式所涉及的液处理装置具备罐、循环管线、泵、过滤器、背压阀以及控制部。罐用于贮存处理液。循环管线用于使从罐送出的处理液返回罐。泵用于形成循环管线中的处理液的循环流。过滤器设置于循环管线中的泵的下游侧。背压阀设置于循环管线中的过滤器的下游侧。控制部控制泵和背压阀。而且，控制部控制泵的喷出压力，以使在开始进行循环管线中的处理液的循环时，泵的喷出压力上升到规定的第一压力，并且在经过规定的时间后，泵的喷出压力增加到比第一压力大的第二压力。