公开(公告)号：CN116547112A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180054611.2

申请日：2021-08-29

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 清水一平 ,  冈田拓之 ,  山中大辅 ,  阿部任弘 ,  佐藤淳一

IPC: B25J9/06

Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。

公开(公告)号：CN116349001A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202180054635.8

申请日：2021-08-29

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 清水一平 ,  冈田拓之 ,  山中大辅 ,  阿部任弘 ,  佐藤淳一

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括手部、臂部、基板检测部以及基板姿势检查部。所述手部保持且运送所述基板。所述臂部连接在所述手部，使所述手部移动。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板姿势检查部根据没有由所述手部所保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度，来检查所述基板的姿势。

公开(公告)号：CN117878031A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202311254699.X

申请日：2023-09-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 门部雅人 ,  似鸟弘弥 ,  阿部任弘 ,  佐藤淳一

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明涉及基板处理装置。提供一种能够在不使输送装置大型化的情况下增加盒的保管量的技术。本公开的一形态的基板处理装置具备：送入送出部，其具有供收容有基板的容器送入送出的第1侧面和与第1侧面相反的一侧的第2侧面；基板输送部，其沿着与第2侧面正交的第1方向延伸；以及多个批量处理部，它们沿着基板输送部的长度方向相邻，送入送出部具有：第1输送装置和第2输送装置，它们能够输送容器；第1区域，第1输送装置可相对于第1区域进行交接，第1区域包含保管容器的多个第1保管搁板；第2区域，第2输送装置可相对于第2区域进行交接，第2区域包含保管容器的多个第2保管搁板；以及可动搁板，其能够在第1区域与第2区域之间移动。

公开(公告)号：CN116367972A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202180054607.6

申请日：2021-08-29

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 清水一平 ,  冈田拓之 ,  山中大辅 ,  阿部任弘 ,  佐藤淳一

IPC: B25J13/00

Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。

公开(公告)号：CN110880465A

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201910826373.7

申请日：2019-09-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 木下盛善 ,  佐佐木勇治 ,  佐藤淳一 ,  浅川贵志

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基片处理装置和吹扫方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括：承载器保管架，其载置收纳基片的承载器；气体供给部，其对载置于上述承载器保管架的上述承载器内供给非活性气体；和控制部，其基于承载器信息、基片信息中至少任意者，控制是否对上述承载器内供给上述非活性气体。本发明能够减少非活性气体的使用量。

公开(公告)号：CN110880465B

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN201910826373.7

申请日：2019-09-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 木下盛善 ,  佐佐木勇治 ,  佐藤淳一 ,  浅川贵志

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基片处理装置和吹扫方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括：承载器保管架，其载置收纳基片的承载器；气体供给部，其对载置于上述承载器保管架的上述承载器内供给非活性气体；和控制部，其基于承载器信息、基片信息中至少任意者，控制是否对上述承载器内供给上述非活性气体。本发明能够减少非活性气体的使用量。

公开(公告)号：CN116096532A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180054557.1

申请日：2021-08-29

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 清水一平 ,  冈田拓之 ,  山中大辅 ,  阿部任弘 ,  佐藤淳一

IPC: B25J9/06

Abstract: 本发明提供一种机器人，该机器人包括引导部、移动部、手部、变形取得部、姿势调整部和控制部。所述移动部被设置在所述引导部，能够在该引导部引导的方向移动。所述手部被设置在所述移动部，保持所述基板。所述变形取得部取得与所述引导部的变形相关的信息。所述姿势调整部能够根据所述变形取得部所取得的所述引导部的变形来调整所述手部的姿势。所述控制部控制所述姿势调整部的动作。所述控制部根据与所述引导部的变形相关的信息，用所述姿势调整部调整相对于运送预定的所述基板进行保持作业的所述手部的姿势。