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公开(公告)号：CN116096532A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180054557.1
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J9/06
Abstract: 本发明提供一种机器人，该机器人包括引导部、移动部、手部、变形取得部、姿势调整部和控制部。所述移动部被设置在所述引导部，能够在该引导部引导的方向移动。所述手部被设置在所述移动部，保持所述基板。所述变形取得部取得与所述引导部的变形相关的信息。所述姿势调整部能够根据所述变形取得部所取得的所述引导部的变形来调整所述手部的姿势。所述控制部控制所述姿势调整部的动作。所述控制部根据与所述引导部的变形相关的信息，用所述姿势调整部调整相对于运送预定的所述基板进行保持作业的所述手部的姿势。
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公开(公告)号：CN116367972A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180054607.6
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J13/00
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
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公开(公告)号：CN116547112A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180054611.2
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J9/06
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。
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公开(公告)号：CN116349001A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180054635.8
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括手部、臂部、基板检测部以及基板姿势检查部。所述手部保持且运送所述基板。所述臂部连接在所述手部，使所述手部移动。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板姿势检查部根据没有由所述手部所保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度，来检查所述基板的姿势。
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公开(公告)号：CN108428654B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201810135324.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 阿部任弘
IPC: H01L21/673 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种能够抑制微粒的飞散的基板处理系统和基板输送方法。一实施方式的基板处理系统具备：承载件输送区域，其用于相对于基板处理装置输送收容基板的承载件；基板输送区域，其与所述承载件输送区域之间被分隔壁分隔开，该基板输送区域用于将收容于所述承载件的所述基板向处理炉输送；输送口，其形成于所述分隔壁，该输送口用于在所述承载件输送区域与所述基板输送区域之间输送所述基板；开闭门，其对所述输送口进行开闭；以及同压化部件，其使所述基板输送区域的压力与由所述承载件和所述开闭门包围的空间的压力大致同压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107689336A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710651619.2
申请日：2017-08-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67011
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止副生成物的附着本身的盖体和使用了该盖体的基板处理装置。该盖体具有：金属板；石英板，其设置于该金属板上；螺纹孔，其贯穿所述石英板，该螺纹孔设置到所述金属板的预定深度；螺钉，其插入该螺纹孔，该螺钉用于将所述石英板固定于所述金属板；以及吹扫气体供给孔，其在俯视时设置于比该螺钉靠内侧的位置，该吹扫气体供给孔能够从所述金属板的内部朝向所述石英板的底面供给吹扫气体，以便能够向所述石英板与所述金属板之间的间隙供给吹扫气体。
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公开(公告)号：CN117878031A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311254699.X
申请日：2023-09-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明涉及基板处理装置。提供一种能够在不使输送装置大型化的情况下增加盒的保管量的技术。本公开的一形态的基板处理装置具备：送入送出部，其具有供收容有基板的容器送入送出的第1侧面和与第1侧面相反的一侧的第2侧面；基板输送部，其沿着与第2侧面正交的第1方向延伸；以及多个批量处理部，它们沿着基板输送部的长度方向相邻，送入送出部具有：第1输送装置和第2输送装置，它们能够输送容器；第1区域，第1输送装置可相对于第1区域进行交接，第1区域包含保管容器的多个第1保管搁板；第2区域，第2输送装置可相对于第2区域进行交接，第2区域包含保管容器的多个第2保管搁板；以及可动搁板，其能够在第1区域与第2区域之间移动。
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公开(公告)号：CN107689336B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201710651619.2
申请日：2017-08-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止副生成物的附着本身的盖体和使用了该盖体的基板处理装置。该盖体具有：金属板；石英板，其设置于该金属板上；螺纹孔，其贯穿所述石英板，该螺纹孔设置到所述金属板的预定深度；螺钉，其插入该螺纹孔，该螺钉用于将所述石英板固定于所述金属板；以及吹扫气体供给孔，其在俯视时设置于比该螺钉靠内侧的位置，该吹扫气体供给孔能够从所述金属板的内部朝向所述石英板的底面供给吹扫气体，以便能够向所述石英板与所述金属板之间的间隙供给吹扫气体。
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公开(公告)号：CN108428654A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810135324.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 阿部任弘
IPC: H01L21/673 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67766 , H01L21/67017 , H01L21/67389 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775 , H01L21/67393
Abstract: 本发明提供一种能够抑制微粒的飞散的基板处理系统和基板输送方法。一实施方式的基板处理系统具备：承载件输送区域，其用于相对于基板处理装置输送收容基板的承载件；基板输送区域，其与所述承载件输送区域之间被分隔壁分隔开，该基板输送区域用于将收容于所述承载件的所述基板向处理炉输送；输送口，其形成于所述分隔壁，该输送口用于在所述承载件输送区域与所述基板输送区域之间输送所述基板；开闭门，其对所述输送口进行开闭；以及同压化部件，其使所述基板输送区域的压力与由所述承载件和所述开闭门包围的空间的压力大致同压。
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公开(公告)号：CN101271857B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200810085863.8
申请日：2008-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67781 , H01L21/67265 , H01L21/67766 , Y10S414/138
Abstract: 基板移载装置(100)包括：具有保持基板(W)的保持臂(41a～41e)和搬送基体(5)的基板搬送单元(4)；形成水平光轴(L)的光传感器(62)；使搬送基体(5)升降的升降单元(52)；和检测搬送基体(5)相对于光轴(L)的高度位置的高度位置检测单元(54)。控制部(7)的判断单元(72a)，基于来自光传感器(62)的受光-非受光的检测结果和搬送基体(5)的高度位置，判断保持臂(41a～41e)相对于水平面的姿势是否正常。此外，当通过判断单元(72a)判断出保持臂(41a～41e)相对于水平面的姿势异常时，控制部(7)停止基板搬送单元(4)。
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