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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101521172A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910118605.X
申请日：2009-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00 , G05B19/418
CPC classification number: H01L21/67769 , H01L21/681
Abstract: 本发明提供搬送单元的示教方法、存储介质和基板处理装置，将保持多枚晶片的载体由搬送臂载置到基板处理装置内的载置台时，正确且简易地进行相对于载置台的载体的定位。在搬送载体前，在形成开口部的载置台上，将与载体相同形状且具备在载置台上方理想位置正确定位时拍摄区域中心位置与该开口部中央相对的照相机的载体夹具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部将搬送臂移动到预定的下降开始位置，由照相机拍摄包含开口部的区域。计算在预定的下降开始位置和下降开始位置的理想位置之间，开口部的中心位置和照相机的拍摄区域的中心位置在水平方朝上的偏移量，将该偏移量作为补正量对保持部的下降开始位置进行修正并将载体载置到载置台上。
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公开(公告)号：CN110880465B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN201910826373.7
申请日：2019-09-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基片处理装置和吹扫方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括：承载器保管架，其载置收纳基片的承载器；气体供给部，其对载置于上述承载器保管架的上述承载器内供给非活性气体；和控制部，其基于承载器信息、基片信息中至少任意者，控制是否对上述承载器内供给上述非活性气体。本发明能够减少非活性气体的使用量。
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公开(公告)号：CN115080918A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210202235.3
申请日：2022-03-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种统计方法和处理装置。统计方法包括：获取日志信息的步骤，所述日志信息包含由处理基片的处理装置所具有的传感器测量出的、所述处理装置使用了的资源消耗的测量值和测量日期时间；将获取到的所述日志信息中包含的所述资源消耗的测量值和所述测量日期时间保存在存储部中的步骤；和参照所述存储部，对指定的统计期间中的所述测量日期时间所对应的所述资源消耗的测量值进行累计，计算每个所述处理装置的所述资源消耗的累计值的步骤。根据本发明，能够使每个处理装置所使用的消耗能量可视化。
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公开(公告)号：CN101521172B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200910118605.X
申请日：2009-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00 , G05B19/418
CPC classification number: H01L21/67769 , H01L21/681
Abstract: 本发明提供搬送单元的示教方法、存储介质和基板处理装置，将保持多枚晶片的载体由搬送臂载置到基板处理装置内的载置台时，正确且简易地进行相对于载置台的载体的定位。在搬送载体前，在形成开口部的载置台上，将与载体相同形状且具备在载置台上方理想位置正确定位时拍摄区域中心位置与该开口部中央相对的照相机的载体夹具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部将搬送臂移动到预定的下降开始位置，由照相机拍摄包含开口部的区域。计算在预定的下降开始位置和下降开始位置的理想位置之间，开口部的中心位置和照相机的拍摄区域的中心位置在水平方朝上的偏移量，将该偏移量作为补正量对保持部的下降开始位置进行修正并将载体载置到载置台上。
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公开(公告)号：CN110880465A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201910826373.7
申请日：2019-09-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基片处理装置和吹扫方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括：承载器保管架，其载置收纳基片的承载器；气体供给部，其对载置于上述承载器保管架的上述承载器内供给非活性气体；和控制部，其基于承载器信息、基片信息中至少任意者，控制是否对上述承载器内供给上述非活性气体。本发明能够减少非活性气体的使用量。
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