公开(公告)号：CN108735631B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN201810371461.8

申请日：2018-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中溝贤治 ,  守田聪 ,  田中明贤 ,  小宫洋司 ,  中岛幹雄 ,  福田孝佑 ,  正木洋一 ,  安藤了至 ,  须中郁雄

IPC: H01L21/67

Abstract: 提供一种探测流路开闭部的异常的处理装置、异常探测方法以及存储介质。实施方式的一种方式所涉及的处理装置具备腔室、喷嘴、流量测量部、流路开闭部以及控制部。腔室用于收容被处理体。喷嘴设置于腔室内，用于向被处理体供给处理液。流量测量部用于测量向喷嘴供给的处理液的流量。流路开闭部进行向喷嘴供给处理液的供给流路的开闭。控制部向流路开闭部输出用于进行关闭供给流路的闭动作的闭信号。另外，控制部根据在输出闭信号之后由流量测量部测量得到的流量的累积量来探测流路开闭部的动作异常。

公开(公告)号：CN108735631A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810371461.8

申请日：2018-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中溝贤治 ,  守田聪 ,  田中明贤 ,  小宫洋司 ,  中岛幹雄 ,  福田孝佑 ,  正木洋一 ,  安藤了至 ,  须中郁雄

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67253 ,  G01F9/001 ,  G01F15/005 ,  G01F25/0007 ,  G01M1/00 ,  G01M3/2876 ,  G05B23/0235 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67017

Abstract: 提供一种探测流路开闭部的异常的处理装置、异常探测方法以及存储介质。实施方式的一种方式所涉及的处理装置具备腔室、喷嘴、流量测量部、流路开闭部以及控制部。腔室用于收容被处理体。喷嘴设置于腔室内，用于向被处理体供给处理液。流量测量部用于测量向喷嘴供给的处理液的流量。流路开闭部进行向喷嘴供给处理液的供给流路的开闭。控制部向流路开闭部输出用于进行关闭供给流路的闭动作的闭信号。另外，控制部根据在输出闭信号之后由流量测量部测量得到的流量的累积量来探测流路开闭部的动作异常。