-
公开(公告)号：CN111352231B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201811582754.7
申请日：2018-12-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G02B26/04
Abstract: 本发明公开了一种透过率调整装置，包括：旋转中心区域，以及围绕旋转中心区域设置的环形结构；环形结构包括透过率调整区和完全透光区；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接；透过率调整区设置有阵列排布的透光孔，透过率调整区的透光面积在沿围绕旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。本发明提供了一种透过率调整装置，以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制，并且不能实现透过率的连续调整的问题。
-
公开(公告)号：CN110687753A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201810739178.6
申请日：2018-07-06
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明实施例提供了一种气动装置和光刻装置，其中，该气动装置包括气控块和气控通路，气控块内部设置有气体切换腔室、柔性薄片、大气管路、第一真空支路和第二真空支路，气控通路的两端分别与气体切换腔室和待控对象连通；气体切换腔室密封设置，柔性薄片设置于气体切换腔室内，用于将气体切换腔室分为相互隔离的第一隔离区和第二隔离区；当第一真空支路抽真空时，气控通路将第一真空支路输入的真空导向待控对象，实现吸附；当第二真空支路抽真空时，气控通路将大气管路输入的大气导向待控对象，实现释放。本发明实现了减小气动装置的体积，使气动装置可以设置于光刻设备中离硅片很近的位置，从而减小了硅片交接时间，提高了曝光效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110687753B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201810739178.6
申请日：2018-07-06
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明实施例提供了一种气动装置和光刻装置，其中，该气动装置包括气控块和气控通路，气控块内部设置有气体切换腔室、柔性薄片、大气管路、第一真空支路和第二真空支路，气控通路的两端分别与气体切换腔室和待控对象连通；气体切换腔室密封设置，柔性薄片设置于气体切换腔室内，用于将气体切换腔室分为相互隔离的第一隔离区和第二隔离区；当第一真空支路抽真空时，气控通路将第一真空支路输入的真空导向待控对象，实现吸附；当第二真空支路抽真空时，气控通路将大气管路输入的大气导向待控对象，实现释放。本发明实现了减小气动装置的体积，使气动装置可以设置于光刻设备中离硅片很近的位置，从而减小了硅片交接时间，提高了曝光效率。
-
公开(公告)号：CN115547875A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202110739482.2
申请日：2021-06-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/268 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种基板加热支撑装置及半导体机台。所述基板加热支撑装置包括承载单元、加热单元、隔热单元以及底盘单元；承载单元包括一承载板；加热单元的第一表面与承载板的第二表面相接触，以加热承载板及基板；隔热单元的第一表面与加热单元的第二表面相接触，隔热单元的第二表面与底盘单元的第一表面相接触；其中，隔热单元及加热单元过盈装配于承载板与底盘单元之间。本发明中，隔热单元及加热单元过盈配合于承载板及底盘单元之间，使得底盘加热单元与承载板的接触更为紧密，以提高热传导效率及热传导均匀性。另外，隔热单元设置于加热单元的第二表面，可减少热量的损失，并防止热量向底盘单元下传导，以保护基板加热支撑装置的周边器件。
-
公开(公告)号：CN111352231A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201811582754.7
申请日：2018-12-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G02B26/04
Abstract: 本发明公开了一种透过率调整装置，包括：旋转中心区域，以及围绕旋转中心区域设置的环形结构；环形结构包括透过率调整区和完全透光区；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接；透过率调整区设置有阵列排布的透光孔，透过率调整区的透光面积在沿围绕旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。本发明提供了一种透过率调整装置，以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制，并且不能实现透过率的连续调整的问题。
-
公开(公告)号：CN111136267A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201811314136.4
申请日：2018-11-06
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种3D打印装置、3D打印方法及CNC系统的控制方法，3D打印装置包括打印平台、复合式打印系统及控制系统，控制系统连接于复合式打印系统，复合式打印系统包括电弧打印分系统、激光打印分系统、切削分系统及运动系统，控制系统用于根据输入参数：输出运动参数至运动系统中，分别输出各个分系统的工艺参数至相应的分系统中，运动系统执行运动参数带动至少一个分系统运动，工艺参数用于各个分系统的运行的控制，3D打印装置集合了电弧打印和激光打印的优点，零件成型路径由控制系统进行规划，由运动系统及各个分系统共同执行，解决了采用单一方式3D打印零件的缺陷问题和成本较高的问题。提高了工作效率的同时，还降低了制造成本。
-
公开(公告)号：CN212573387U
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202021564718.0
申请日：2020-07-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H05K7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种气体冷却装置，包括：壳体，壳体内设置有气流通道，壳体上设置有冷却介质入口和冷却介质出口；冷却管道，设于气流通道内，并与冷却介质入口和冷却介质出口连通，冷却管道用于流通冷却介质，冷却介质能冷却气流通道内的气流；冷却管道在气流通道的截面内弯折形成管网单元，管网单元为若干个，若干个管网单元沿气流通道的气流方向间隔设置，且相邻的管网单元在气流通道的截面上的投影不重叠，以使相邻的管网单元错位设置。本实用新型提供一种能提升散热效率且体积较小的气体冷却装置。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.038 seconds)
