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公开(公告)号：CN100514705C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200610024068.9
申请日：2006-02-22
Applicant: 上海广电电子股份有限公司 , 上海大学
Abstract: 一种有机电致发光屏电极的制作方法，在制作前电极的过程中，当刻制出透明电极条及其间隙之后，先不去掉覆盖在透明电极条上的光刻胶条，而是用溶剂溶解光刻胶条，使光刻胶条的长宽收缩，露出透明电极条的边缘。然后在其上面覆盖一层无机绝缘层，再将覆盖在透明电极条上的光刻胶条连同覆盖在它上面的绝缘层一起去掉，留下是包住透明电极条边缘和覆盖透明电极条之间间隙的绝缘层；制作背电极的过程中采用拉线模具和一次蒸镀制成背电极条的方法。比在先技术制作前后电极省去了二次光刻的工艺过程，缩短了制作电极的过程，提高了制作精度。
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公开(公告)号：CN1828975A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200610024068.9
申请日：2006-02-22
Applicant: 上海广电电子股份有限公司 , 上海大学
Abstract: 一种有机电致发光屏电极的制作方法，在制作前电极的过程中，当刻制出透明电极条及其间隙之后，先不去掉覆盖在透明电极条上的光刻胶条，而是用溶剂溶解光刻胶条，使光刻胶条的长宽收缩，露出透明电极条的边缘。然后在其上面覆盖一层无机绝缘层，再将覆盖在透明电极条上的光刻胶条连同覆盖在它上面的绝缘层一起去掉，留下是包住透明电极条边缘和覆盖透明电极条之间间隙的绝缘层；制作背电极的过程中采用拉线模具和一次蒸镀制成背电极条的方法。比在先技术制作前后电极省去了二次光刻的工艺过程，缩短了制作电极的过程，提高了制作精度。
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公开(公告)号：CN117042552A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311041153.6
申请日：2023-08-17
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明属于电子器件技术领域，具体涉及一种电解质栅控晶体管阵列及其高精度集成方法、高离子电导率的准固态电解质及其应用。本发明提供的集成方法制备得到的电解质栅控突触晶体管阵列区别于传统的顶栅结构或者底栅结构晶体管，其栅极在并不在晶体管沟道的垂直区域内，在方便阵列走线的同时，简化了工艺步骤，并且，该晶体管栅极介质设置在顶部，可最后制备，从而能够在设置栅极介质前实现复合功能结构的大阵列、高精度制备，避免了光刻工艺和液态或准固态电解质栅介质之间的不兼容，简化了集成方法。同时，该器件结构中栅极和源极漏极间引入了额外的隔离层，隔绝了栅极和源极漏极避免了两层电极间的串扰。
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公开(公告)号：CN103160788B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201110424150.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 上海大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。
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公开(公告)号：CN106252394A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610754922.0
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海大学
IPC: H01L29/41 , H01L29/417 , H01L29/786 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了一种具有成分缓变有源层结构的氧化物薄膜的场效应晶体管器件及其制备方法，属于薄膜晶体管器件技术领域。缓变结构氧化物有源层所采用结构为：ZnSnO/ZnSnO:X% HfO2/ZnSnO:Y% HfO2 其中（X
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103872264B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210528676.9
申请日：2012-12-11
Applicant: 上海大学
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明涉及一种制作有机电致发光器件的可控制充气压力封装系统。它包括气体钢瓶、气体净化器、进气阀门、真空表、抽气阀门、抽气系统、样品密封装置它们之间由气管连接、在样品密封装置上面还有光源。样品密封装置由带有进气管道、抽气管道的真空机座上面还有上密封圈、下密封圈、由上压板和下压板压紧上透明盖板和下透明盖板形成一密闭的真空腔体，在真空腔体内的下部放有带有有机发光层的基板、上部有黏有可移动磁铁的玻璃密封后盖、在玻璃密封后盖的周边凸圈上放有一层密封胶，此整体由在上透明盖板上面的上磁铁与之向对应的在下透明盖板下面相隔一定距离处的下磁铁吸引。本发明使用的是外加光源，很容易更换。可以使用多种密封胶来进行密封。
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公开(公告)号：CN105742498A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610225871.2
申请日：2016-04-13
Applicant: 上海大学
CPC classification number: H01L51/0545 , H01L51/0562
Abstract: 本发明公开了一种具有复合有源层的双极型薄膜晶体管器件及其制备方法，依次由基板、栅极、绝缘层、无机半导体有源层、源极、漏极和有机半导体有源层构成底栅结构，源极和漏极形成同层源漏电极薄膜层，无机半导体有源层和有机半导体有源层位于源漏电极薄膜层两侧，从而形成双极型的薄膜晶体管器件的无机?有机复合结构有源层。本发明充分结合无机N型半导体材料丰富、迁移率较高且制备方法相对简单的优势和有机P型半导体材料种类比较多、迁移率较高且稳定性较好的优势，结合底栅顶接触结构的特点，很好地避免了有机薄膜晶体管刻蚀过程造成的损伤，合理地运用在双极型薄膜晶体管器件中，实现了N型和P型输出。
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公开(公告)号：CN103949081A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410162063.7
申请日：2014-04-22
Applicant: 上海大学
IPC: B01D7/00
Abstract: 本发明涉及一种可持续生产可蒸发材料的管式提纯装置，由一个带有进料管、多个出料管、进气管和抽气管的外管，一个比外管直径稍小可以套在外管里面密配合的并在与外管的各出口处都有相应的开孔的内管，与外管相连的真空封头，在真空封头中心有一个与它有真空密封的可以推拉和旋转的推拉杆，推拉杆上还连接有匀料盘带缺口的刮料盘、3个刮料盘和一个阻气盘，在外管的进料口上连接有真空阀门进料装置真空接头与原料瓶相连，在外管下面有四个出料口上都连接有真空阀门、真空接头，与相应的不挥发料瓶、精料瓶、中温料瓶、低温料瓶、相连接，在外管的外面有三个独立的可控温的加热炉丝以形成三个温区。
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公开(公告)号：CN102011096B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010611085.9
申请日：2010-12-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种可控制蒸发气流分布和成分的真空蒸发系统。他包括蒸发枪、高温蒸发坩埚和装有蒸发料的储料罐，所述蒸发枪带有一个上下锥面的喷口，且在喷口内侧安置一个可移动的气流导向塞子，对准所述的喷口前方是待蒸镀的基板，该蒸发枪通过一个加热管道或缓冲瓶与带有交叉挡板的所述高温蒸发坩埚相连，在所述坩埚的另一侧通过一个装有送料阀门的管道与所述储料罐相连；所述蒸发枪、加热管道、高温蒸发坩埚和管道外壁上都有加热线圈，在储料罐外壁上亦有加热线圈；通过送料阀门和管道把储料罐中的蒸发料投放到高温蒸发坩埚中成为进行蒸发的蒸发料瞬间变成蒸发气体而输送至蒸发枪，通过改变气流导向塞子与喷口的相对位置可控制蒸发气体的大小和方向，蒸发到基板上形成设定面积、均匀的、多组分的蒸发薄膜。本发明结构简单，可提高有机蒸发料的利用率，提高生产率。
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公开(公告)号：CN101572273B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200910050351.2
申请日：2009-04-30
Applicant: 上海大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/417 , H01L21/283
Abstract: 本发明涉及一种薄膜晶体管器件。它包括基板、金属栅极层、第一绝缘层、有源层、金属源电极和漏电极层，在所述的有源层与金属源电极和漏电极层之间有一层第二绝缘层，它代替一般使用的欧姆接触层能起到降低源、漏电极和有源层中间的接触电阻的作用。由此可以降低器件制作过程中使用有毒气体和减少一道蚀刻工艺。
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