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公开(公告)号：CN103446773A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310392950.9
申请日：2013-09-03
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种传送带式可蒸发材料提纯装置。包括一个带有一个进料系统和多个出料系统的真空腔体，所述真空腔体内装又多个传送带式提纯单元，每个传送带式提纯单元有上下成对叠置安装的两个传送带系统，其中下传送带系统为蒸发传送带系统，上传送带系统为收集传送带系统，本发明的传送带式提纯装置提供的原料瓶由于在真空腔体外因此在原材料用完后可以通过关断真空阀门的情况下通过真空接头进行更换，当然在更换后还需要对原料瓶部分进行局部的抽空，本发明的传送带式提纯装置提供的低温料瓶、剩余料瓶、高纯料瓶都在真空腔体外，因此当这些料瓶装满后可以通过关断真空阀门的情况下的真空接头处进行更换。
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公开(公告)号：CN103160788B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201110424150.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 上海大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。
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公开(公告)号：CN103446773B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310392950.9
申请日：2013-09-03
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种传送带式可蒸发材料提纯装置。包括一个带有一个进料系统和多个出料系统的真空腔体，所述真空腔体内装又多个传送带式提纯单元，每个传送带式提纯单元有上下成对叠置安装的两个传送带系统，其中下传送带系统为蒸发传送带系统，上传送带系统为收集传送带系统，本发明的传送带式提纯装置提供的原料瓶由于在真空腔体外因此在原材料用完后可以通过关断真空阀门的情况下通过真空接头进行更换，当然在更换后还需要对原料瓶部分进行局部的抽空，本发明的传送带式提纯装置提供的低温料瓶、剩余料瓶、高纯料瓶都在真空腔体外，因此当这些料瓶装满后可以通过关断真空阀门的情况下的真空接头处进行更换。
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公开(公告)号：CN103160788A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110424150.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 上海大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。
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