公开(公告)号：CN119268563A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411599697.9

申请日：2024-11-11

Applicant: 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心) ,  上海芬创信息科技有限公司

Inventor： 邹文哲 ,  雷李华 ,  管钰晴 ,  朱言瑧 ,  郭创为 ,  刘丽琴 ,  曾志超 ,  张玉杰 ,  张岚

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明为一种基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统，包括光路系统及位移台驱动系统，所述的位移台驱动系统包括四轴位移台，所述的四轴位移台的安装台面上设有用于安装纳米光栅的纳米光栅支架和激光干涉仪，所述的纳米光栅通过四轴位移台依次对纳米光栅三轴方向角度分别进行修正，包括俯仰、横滚与偏摆三自由度上的自由转动以及光栅轴线方向上的线位移。本发明采用激光干涉仪测量值作为光栅姿态的修正反馈，将光栅位移测量系统的测量值与其进行比对，判断四轴位移台各轴的调整方向，最后再经由多次驱动四轴位移台，将纳米光栅支架调整至理想位置，解决纳米光栅位姿误差问题。

公开(公告)号：CN119126322A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411327663.4

申请日：2024-09-23

Applicant: 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心) ,  上海芬创信息科技有限公司

Inventor： 雷李华 ,  朱言瑧 ,  苏祎 ,  管钰晴 ,  刘丽琴 ,  曾志超 ,  梁利杰 ,  张玉杰 ,  张岚

IPC: G02B7/00 ,  G01B11/26

Abstract: 本发明为一种双光栅角度调整用旋转位移台及调整光栅对平行的方法，所述的旋转位移台包括位于底部的微振动位移台、设于所述微振动位移台上的一对结构相同且背对设置的光栅调节夹具及位于两光栅调节夹具中间的光面接收屏，两所述的光栅调节夹具分别包括固定于各自相应的光栅三轴调节装置上的伸缩式光栅夹具，所述的调整光栅对平行的方法通过调节两伸缩式光栅夹具分别夹持的标准光栅A和待测光栅B的俯仰、滚转、偏摆角度，使两光栅各自的反射光分别与线光源通过水平狭缝形成的准直线光垂直完成栅面平行调整，使两光栅各自的衍射光连线分别与线光源通过水平狭缝形成的准直线光平行完成栅线平行调整。本发明采用模块化设计，结构紧凑，便于安装拆卸。

公开(公告)号：CN119915331A

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202510348384.4

申请日：2025-03-24

Applicant: 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)

Inventor： 雷李华 ,  朱言瑧 ,  张剑峰 ,  管钰晴 ,  刘丽琴 ,  邹文哲 ,  徐瑞书 ,  郭创为 ,  张玉杰 ,  梁利杰 ,  谢张宁

IPC: G01D18/00 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明为一种基于双光栅干涉的微型旋转编码器校准装置及其校准方法，包括双光栅零差干涉校准系统、微振动位移台和微型旋转编码器及接收系统，微振动位移台设有安装有两光栅调节装置的机械振动模块，微型旋转编码器与其中一光栅调节装置拼接，并与单片机控制模块电路相连，由单片机控制模块接收上位机输入的目标参数信息控制旋转编码器，并驱动微振动位移台沿矢量方向连续振动，带动光栅旋转设定角度，通过实时输出双光栅干涉信号并计算光栅旋转产生的余弦角测量值，与微型旋转式编码器刻制标准值比对直至完成校准。本发明采用双光栅干涉比对校准的形式，实现对微型旋转编码器的高精度校准，可溯源到“米”的定义，稳定性高、溯源链短、鲁棒性强。