公开(公告)号：CN119472185A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411581282.9

申请日：2024-11-07

Applicant: 上海大学

Inventor： 姜琳 ,  杨国 ,  张建华 ,  李浩源 ,  闫腾飞 ,  凌晓

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明属于半导体制造设备技术领域，公开了一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法，本发明提供的DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置包括：碎屑引入部、真空差分部、气体吹扫部、箔阱过滤部、原子氢部、延迟场离子能量分析仪部、石英晶体微天平部、控制和监测系统。本发明的装置通过多种清除机制(真空差分、气体吹扫、箔阱过滤、原子氢反应)相结合，并引入高精度的监测系统(离子能量分析仪、石英晶体微天平)，能够有效过滤和缓解不同类型、不同粒径的碎屑污染。同时，实时的在线监测系统可以根据监测结果及时调节各清除机制的工作状态，实现高效、精准的碎屑清除，延长光刻系统组件的使用寿命，提升光刻效率。

公开(公告)号：CN118960949A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410824206.X

申请日：2024-06-25

Applicant: 上海大学

Inventor： 凌晓 ,  周陈昊 ,  郑家乐 ,  肖皓轩 ,  张建华 ,  闫腾飞

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/04 ,  G01J3/28

Abstract: 本发明提供一种放电等离子体型光源极紫外光功率的测量装置及方法，包括：对于DPP光源通过电极放电产生从x射线到可见光的宽谱带范围的椭球型光束进行滤波，形成设定谱带范围的光束；采用光谱仪对所述滤波器形成的设定谱带范围的光束进行检测，得到所述光束在谱带范围内的光强分布，通过面积积分计算得到极紫外光在谱带范围内的光功率占比；采用光电探测器将所述滤波器形成的设定谱带范围的光束的光功率信号转变为电流信号，并通过所述光电探测器内的响应曲线计算出在谱带范围内的光束总功率；根据所述光功率占比和所述光束总功率，计算得到极紫外光(13.5nm，±2％)功率。本发明测量结构简单且测量准确度高。

公开(公告)号：CN118483878A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410677043.7

申请日：2024-05-29

Applicant: 上海大学

Inventor： 凌晓 ,  闫腾飞 ,  肖皓轩 ,  张建华

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种极紫外光收集装置和系统，极紫外光收集装置，包括：球面反射镜组，包括多个球面反射镜，所述球面反射镜组中的每个球面反射镜收集一部分极紫外光源射出的极紫外光线；多个反射镜架，所述球面反射镜固定于所述反射镜架上；驱动机构，所述驱动机构驱动所述反射镜架至指定位置和角度，使得每个所述球面反射镜收集的极紫外光线汇聚于同一个像点处。本发明可以在大幅降低收集用光学元件成本的同时，实现较高的极紫外光收集效率。