公开(公告)号：CN115132864B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202210672458.6

申请日：2022-06-15

Applicant: 上海大学 ,  松山湖材料实验室

Inventor： 王生浩 ,  叶超 ,  姜琳 ,  姜岩

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/04 ,  H01L31/18

Abstract: 一种Y掺杂的无机钙钛矿CsSnI3薄膜，所述薄膜是SnI2和CsI配制的CsSnI3前驱液中加入金属Y粉末形成旋涂液，通过旋涂制备得到，其中SnI2与Y的比例为1mmol：2‑6mg。本发明通过添加Y粉制备出的CsSnI3薄膜，相较于没有掺杂Y的CsSnI3薄膜结晶性能提高了10倍以上；显著提高了薄膜的光致发光强度；粗糙度从11nm降低至6.8nm，有利于提高太阳能电池的光电转化效率；一定程度上抑制了制备过程溶液中Sn2+向Sn4+氧化，CsSnI3薄膜成品空气稳定性变好。该薄膜用于太阳能电池中，有效提高了太阳能电池的性能，较无任何掺杂的太阳能电池PCE提高了8倍以上。

公开(公告)号：CN119472185A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411581282.9

申请日：2024-11-07

Applicant: 上海大学

Inventor： 姜琳 ,  杨国 ,  张建华 ,  李浩源 ,  闫腾飞 ,  凌晓

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明属于半导体制造设备技术领域，公开了一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法，本发明提供的DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置包括：碎屑引入部、真空差分部、气体吹扫部、箔阱过滤部、原子氢部、延迟场离子能量分析仪部、石英晶体微天平部、控制和监测系统。本发明的装置通过多种清除机制(真空差分、气体吹扫、箔阱过滤、原子氢反应)相结合，并引入高精度的监测系统(离子能量分析仪、石英晶体微天平)，能够有效过滤和缓解不同类型、不同粒径的碎屑污染。同时，实时的在线监测系统可以根据监测结果及时调节各清除机制的工作状态，实现高效、精准的碎屑清除，延长光刻系统组件的使用寿命，提升光刻效率。

公开(公告)号：CN115132864A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210672458.6

申请日：2022-06-15

Applicant: 上海大学 ,  松山湖材料实验室

Inventor： 王生浩 ,  叶超 ,  姜琳 ,  姜岩

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/04 ,  H01L31/18

Abstract: 一种Y掺杂的无机钙钛矿CsSnI3薄膜，所述薄膜是SnI2和CsI配制的CsSnI3前驱液中加入金属单质钇（Y）粉末形成旋涂液，通过旋涂制备得到，其中SnI2与Y的比例为1mmol：2‑6mg。本发明通过添加Y粉制备出的CsSnI3薄膜，相较于没有掺杂Y的CsSnI3薄膜结晶性能提高了10倍以上；显著提高了薄膜的光致发光强度；薄膜在可见光区的吸光能力提高，带隙从1.303 eV提升到1.337eV，有利于器件性能提高；粗糙度从11nm降低至6.8nm，有利于提高太阳能电池的光电转化效率；一定程度上抑制了制备过程溶液中Sn2+向Sn4+氧化，CsSnI3薄膜成品空气稳定性变好。该薄膜用于太阳能电池中，有效提高了太阳能电池的性能，较无任何掺杂的太阳能电池PCE提高了8倍以上。