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公开(公告)号：CN118960949A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410824206.X
申请日：2024-06-25
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种放电等离子体型光源极紫外光功率的测量装置及方法，包括：对于DPP光源通过电极放电产生从x射线到可见光的宽谱带范围的椭球型光束进行滤波，形成设定谱带范围的光束；采用光谱仪对所述滤波器形成的设定谱带范围的光束进行检测，得到所述光束在谱带范围内的光强分布，通过面积积分计算得到极紫外光在谱带范围内的光功率占比；采用光电探测器将所述滤波器形成的设定谱带范围的光束的光功率信号转变为电流信号，并通过所述光电探测器内的响应曲线计算出在谱带范围内的光束总功率；根据所述光功率占比和所述光束总功率，计算得到极紫外光(13.5nm，±2％)功率。本发明测量结构简单且测量准确度高。
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公开(公告)号：CN118734664A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410799313.1
申请日：2024-06-20
Applicant: 上海大学
Abstract: 本公开提供一种基于辐射碰撞模型的氙等离子体电子温度确定方法，包括：确定稳态近似状态的原子能级的速率方程；确定Z箍缩聚变中氙等离子体中占据主导地位的粒子反应类型；根据氙等离子体中占据主导地位的粒子反应类型和稳态近似状态的原子能级的速率方程，确定氙等离子体的速率平衡方程；确定相邻能级的布居密度比；根据相邻能级的布居密度比，确定简化的氙等离子体的速率平衡方程；确定谱线强度比值；根据简化的氙等离子体的速率平衡方程、谱线强度比值以及预设的Boltzmann方程，确定氙等离子体电子温度。通过本公开，采用相对光强线比法简便的计算Z箍缩条件下氙等离子体的电子温度，减少数据处理量，并提高数据准确率。
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公开(公告)号：CN117848558A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410033100.8
申请日：2024-01-09
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种基于多光束杠杆的薄膜应力测量方法和系统，包括：利用多光束杠杆设计，获得光斑阵列的原始图像；从所述原始图像中采集光斑中心点；基于光斑中心点，获得基底和薄膜的曲率，求得最终薄膜应力。本发明利用多光束杠杆法对样品曲率进行测量，操作便捷，且当曲率变化幅度不大情况下，仍可以通过光路的细微偏转来获得较为精确的结果。本发明采用改进Canny边缘检测方法，将高斯滤波替换为双边滤波，更好消除噪声，同时增加45°和135°方向上的梯度幅值计算，更加精确地提取图像的边缘信息；利用椭圆拟合结合曲率公式和Stoney公式，精准地求得薄膜的残余应力。
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公开(公告)号：CN118641029A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410869351.X
申请日：2024-07-01
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法，所述装置包括：滤光片，用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束，其位于第一真空腔体与第二真空腔体之间；反射镜，位于第二真空腔体内，用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束；极紫外光电二极管，用于将带内极紫外光束的光信号转变为电流信号；计算模块，用于根据电流信号和极紫外光电二极管的电流‑功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。本发明的装置结构简单，易于搭建实验平台，能够准确、快速地测得DPP型光源的极紫外光功率。
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