一种基于刻蚀坑可控生长的原子级抛光系统和方法

    公开(公告)号:CN116732597A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310708869.0

    申请日:2023-06-15

    Abstract: 一种电化学抛光领域的基于刻蚀坑可控生长的原子级抛光系统和方法,抛光系统包括抛光槽、清洗槽、送料机构、电化学抛光单元;其中抛光槽包括公转运动电机、公转电机基座、支撑杆旋转基座和“照度反馈”装置;清洗槽可容纳清洗液;送料机构包括水平驱动推杆,竖直驱动推杆,抓手机构,主要夹持电化学抛光单元进行空间位置转移;电化学抛光单元包括支撑杆、待抛光工件、自转电机、电解反应阴极板、自转电机控制器、上连接杆、下连接杆,负责夹持工件进行抛光或清洗,并且可以实现工件的自转运动。本发明还公开基于本抛光系统的电化学抛光方法,包括:抛光工艺设计,工件的运动形式,在线测量方法等;本发明可实现光学微结构元件的超精密原子级抛光。

    一种基于离子刻蚀的光学金属元件表面抛光装置和方法

    公开(公告)号:CN116356413A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310349559.4

    申请日:2023-04-04

    Abstract: 一种镍磷合金表面加工技术领域的基于离子刻蚀的光学金属元件表面抛光装置和方法,电化学离子刻蚀装置包括离子刻蚀槽体、直流电源、固定架。离子刻蚀槽体具有防腐蚀功能,绝缘容器底部横穿两条通气管道,气体流量通过阀门进行控制,通入气体可使得电解抛光液成分更加均匀,并促进物质传递过程;固定架包括工件、电极高度控制单元,工件与电极呈垂直分布,工件高度可以上下调节,工件待处理面位于电抛光液液面之下;直流电源正极与工件相连,负极与电极连接。本发明还公开电化学离子刻蚀方法,包括:抛光液配方,预清洗,抛光工艺设计,后清洗等。本发明可实现低能耗高效率的光学金属元件的抛光生产。

    基于行星运动形式的全表面均匀抛光装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN116575105A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202310709002.7

    申请日:2023-06-15

    Abstract: 一种高精度加工技术领域的基于行星运动形式的全表面均匀抛光装置及其使用方法,包括支撑杆、待抛光工件、自转电机、电解反应阴极板、自转电机控制器、公转电机、公转电机基座、支撑杆旋转基座、连接杆,支撑杆由绝缘抗腐蚀材料制成,可带动抛光部分器件同步转动;待抛光工件位于电解反应阴极板的下方,两者高度均可以上下调节;公转电机位于整个装置的最下方,通过上部平面与公转电机基座固定,上部转轴与支撑杆旋转基座固定,由此实现抛光部分器件和公转电机上部转轴同步转动。本发明通过工件的公转运动,加速反应产物离开工件表面,使得反应物在时间尺度上相对均匀。本发明结构简单、易于实现,成本较低,具有广泛的应用前景。

    基于MPF长波运动推进原理的仿生水下机器人

    公开(公告)号:CN116238673A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202310173862.3

    申请日:2023-02-27

    Abstract: 本发明提供了一种基于MPF长波运动推进原理的仿生水下机器人,包括:用于产生前端推进力的前端推进机构,用于调节机器人俯仰位姿的中央俯仰机构,用于产生中端推进力的中端推进机构,用于提供整体驱动的末端电机驱动机构和机器人控制系统;所述前端推进机构末端与所述中央俯仰机构前端相连,所述中央俯仰机构末端与所述中端推进机构前端相连,所述中端推进机构末端与所述末端电机驱动机构前端相连,所述机器人控制系统与所述中央俯仰机构、所述末端电机驱动机构相连并输出控制指令。本发明实现了结构简单、易装配、耗能低、降低成本的目的;此外依靠自身形态变化而非排水量变化实现了水下机器人的俯仰运动,提高了空间利用率与水下游动性能。

    法应力电磁驱动的三轴快速刀具伺服装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN118617172A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410916441.X

    申请日:2024-07-09

    Abstract: 本发明提供了一种法应力电磁驱动的三轴快速刀具伺服装置及其使用方法,包括:柔顺导向机构组件(1):用于引导金刚石刀具;垂直轴法应力电磁致动器组件(2):用于为金刚石刀具垂直轴方向提供驱动力;平面轴法应力电磁致动器组件(3);用于为金刚石刀具平面轴方向提供驱动力;外壳组件(4):用于连接各机构组件部分。本发明实现特征尺度为微米级的金属微结构元件的高效、高精加工目标。

    基于光反射的表面粗糙度检测装置与方法

    公开(公告)号:CN116858138A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310613077.5

    申请日:2023-05-29

    Abstract: 一种激光检测术领域的基于光反射的表面粗糙度检测装置,包括底盘、工件夹具、需检测工件、光准直器组件、光功率计组件、激光输入光纤;工件夹具用于固定工件,通过其底部螺纹孔以螺栓螺母固定的方法固定于底盘上;需检测工件通过其底部的螺纹孔以螺栓固定的方法固定于工件夹具上;光准直器组件包括光准直器、第一支撑架、第一三角形工装;光功率计组件包括光功率计、第二支撑架、第二三角形工装;激光输入光纤通过光纤转接头连接至光准直器组件。本发明可实现工件表面粗糙度的实时检测,能够应用于光学金属元件电化学抛光过程。

    生成高精度激励信号的光电映射转换装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN116551221A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310518495.6

    申请日:2023-05-10

    Abstract: 一种光电技术领域的生成高精度激励信号的光电映射转换装置及其使用方法,包括:用于固定各器件的装置底座、用于改变激光照度的电机转盘组件、用于完成光电转换的光敏元件组件、用于放大光电三极管输出电信号的放大电路、用于产生线状激光信号的激光发射器组件,电机转盘组件、光敏元件组件、激光发射器组件均通过其底部的支撑架以螺栓螺母固定的方法固定于装置底座上,激光发射器产生的线激光穿过电机转盘组件的转盘照射到光敏元件组件的光电三极管上。本发明可实现生成高精度的预设计激励电信号,能够应用于光学金属元件的优质、高效电化学抛光过程,提高了刻蚀过程的可持续性和稳定性。

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