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公开(公告)号：CN113396248A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201980089814.8
申请日：2019-10-09
Applicant: 上村工业株式会社
IPC: C25D17/08 , C25D17/06 , H01L21/683 , H05K3/18
Abstract: 一种工件保持夹具(1A)，包括第一框体(11)和第二框体(12)，两个框体(11、12)分别具有：主体(13)；导电构件(15)；设置成能与工件(10)的周缘部电接触的接触构件(16)；以及遍及主体(13)的整周设置的内周密封构件(17)，两个框体(11、12)在各个内周密封构件(17)以及接触构件(16)从两侧与工件(10)的周缘部抵接的状态下构成密封空间，该密封空间对工件(10)的周缘部、两个框体(11、12)的导电构件(15)、两个框体(11、12)的接触构件(16)进行收容，内周密封构件(17)具有接触凸部(171)，接触凸部(171)的内侧面(1711)向外倾斜。
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公开(公告)号：CN101407935A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810176964.6
申请日：2008-07-25
Applicant: 上村工业株式会社
CPC classification number: C25D21/18
Abstract: 一种连续电镀铜的方法，其中利用可溶性或不溶性阳极，工件为阴极，在容纳含有有机添加剂的硫酸铜电镀液的电镀槽中对工件进行连续电镀，所述方法包括电镀液从电镀槽溢流出到溢流槽中，由此将溢流槽中的电镀液返回到电镀槽中，设置氧化分解槽，并电镀液通过溢流槽从氧化分解槽返回到电镀槽中，以使电镀液在电镀槽和氧化分解槽之间循环，将金属铜浸入氧化分解槽中的电镀液中并暴露于空气鼓泡，使得在铜电镀期间产生的分解或变质所形成的分解/变质有机产物能被氧化分解掉。
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公开(公告)号：CN119061455A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410677968.1
申请日：2024-05-29
Applicant: 上村工业株式会社
IPC: C25D17/06
Abstract: 提供一种工件保持夹具，能够消除因镀覆液浸入工件与电接触端子之间的连接部而造成的不良状况，并且即便在工件刚性低的情况下，也能够无松懈地保持工件。包括背板及框体(12)，框体(12)具有环状的主体(13)、导电构件(15)、接触构件(16)、内侧密封构件(17)以及外侧密封构件(18)，框体(12)在两个密封构件(17、18)之间构成收纳周缘部(101)、导电构件(15)及接触构件(16)的密封空间，内侧密封构件(17)从外侧起具有柱状部(171)和唇部(172)，柱状部(171)以在保持工件时压接于周缘部的方式，向背板侧突出，唇部(172)以与柱状部(171)相同的程度突出，且前端部向外倾斜。
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公开(公告)号：CN115449887A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211239668.2
申请日：2018-05-23
Applicant: 上村工业株式会社
Abstract: 在工件保持夹具(1A)中包括背面板(11)和框体(12)，框体(12)包括：环状的主体(13)；遍及主体13的整周设置的导电构件(15)；接触构件(16)，所述接触构件(16)以能够与工件的周缘部(101)电接触的方式与导电构件(15)电连接并沿导电构件(15)设置；密封构件(17)，所述密封构件(17)在比接触构件(16)更靠内侧的位置遍及主体(13)的整周设置，其中，框体(12)在密封构件(17)和接触构件(16)与工件的周缘部(101)抵接的状态下构成收容周缘部(101)、导电构件(15)和接触构件(16)的密封空间(5)，框体(12)具有用于将液体填充到密封空间(5)中的液体注入口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112626592B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202011048095.6
申请日：2020-09-29
Applicant: 上村工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持夹具，其是用于对板状被处理物实施电镀处理的板状被处理物用保持夹具，板状被处理物配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间，在正面部件上形成有覆盖板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个电极、和覆盖板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个第一绝缘部，在将板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度、和开口部的宽度即与板状被处理物的宽度方向上的边缘平行的部分的长度相比，较短一方的长度设为100时，板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度中80以上的部分被所述第一绝缘部或所述电极覆盖。本发明提供的保持夹具，其在对板状被处理物实施电镀处理时使用，可以降低附着在板状被处理物的边缘部的镀覆量。
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公开(公告)号：CN113330146A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201980089805.9
申请日：2019-10-09
Applicant: 上村工业株式会社
IPC: C25D17/08 , H01L21/683 , H05K3/18 , C25D17/06
Abstract: 一种工件保持夹具(1A)，包括第一框体(11)和第二框体(12)，两个框体(11、12)分别具有：主体(13)；导电构件(15)；设置成能与工件(10)的周缘部电接触的接触构件(16)；以及遍及主体(13)的整周设置的内周密封构件(17)，两个框体(11、12)在各个内周密封构件(17)以及接触构件(16)从两侧与工件(10)的周缘部抵接的状态下构成对工件(10)的周缘部、两个框体(11、12)的导电构件(15)、两个框体(11、12)的接触构件(16)进行收容的密封空间，第一框体(11)和/或第二框体(12)具有用于将液体填充于密封空间的液体注入口，此外，具有用于将密封空间内的空气排气的排气口。
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公开(公告)号：CN112626592A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011048095.6
申请日：2020-09-29
Applicant: 上村工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持夹具，其是用于对板状被处理物实施电镀处理的板状被处理物用保持夹具，板状被处理物配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间，在正面部件上形成有覆盖板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个电极、和覆盖板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个第一绝缘部，在将板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度、和开口部的宽度即与板状被处理物的宽度方向上的边缘平行的部分的长度相比，较短一方的长度设为100时，板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度中80以上的部分被所述第一绝缘部或所述电极覆盖。本发明提供的保持夹具，其在对板状被处理物实施电镀处理时使用，可以降低附着在板状被处理物的边缘部的镀覆量。
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公开(公告)号：CN110959051A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201880049035.0
申请日：2018-05-23
Applicant: 上村工业株式会社
IPC: C25D17/08
Abstract: 在工件保持夹具(1A)中包括背面板(11)和框体(12)，框体(12)包括：环状的主体(13)；遍及主体13的整周设置的导电构件(15)；接触构件(16)，所述接触构件(16)以能够与工件的周缘部(101)电接触的方式与导电构件(15)电连接并沿导电构件(15)设置；密封构件(17)，所述密封构件(17)在比接触构件(16)更靠内侧的位置遍及主体(13)的整周设置，其中，框体(12)在密封构件(17)和接触构件(16)与工件的周缘部(101)抵接的状态下构成收容周缘部(101)、导电构件(15)和接触构件(16)的密封空间(5)，框体(12)具有用于将液体填充到密封空间(5)中的液体注入口。
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公开(公告)号：CN101407935B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200810176964.6
申请日：2008-07-25
Applicant: 上村工业株式会社
CPC classification number: C25D21/18
Abstract: 一种连续电镀铜的方法，其中利用可溶性或不溶性阳极，工件为阴极，在容纳含有有机添加剂的硫酸铜电镀液的电镀槽中对工件进行连续电镀，所述方法包括电镀液从电镀槽溢流出到溢流槽中，由此将溢流槽中的电镀液返回到电镀槽中，设置氧化分解槽，并电镀液通过溢流槽从氧化分解槽返回到电镀槽中，以使电镀液在电镀槽和氧化分解槽之间循环，将金属铜浸入氧化分解槽中的电镀液中并暴露于空气鼓泡，使得在铜电镀期间产生的分解或变质所形成的分解/变质有机产物能被氧化分解掉。
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