热敏电阻及其制造方法和热敏电阻传感器

    公开(公告)号:CN111418032A

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201880076342.8

    申请日:2018-12-17

    Abstract: 本发明提供一种耐热试验前后的电阻值变化比较小且可得到高B常数的热敏电阻及其制造方法和热敏电阻传感器。本发明所涉及的热敏电阻为形成于基材(2)上的热敏电阻(1),其具备:中间层叠部(7),形成于基材上;及主金属氮化膜层(4),由金属氮化物的热敏电阻材料形成于中间层叠部上,中间层叠部具备:基底热敏电阻层(3),由金属氮化物的热敏电阻材料形成;及中间氧氮化层(3a),形成于基底热敏电阻层上,主金属氮化膜层形成于中间氧氮化层上,中间氧氮化层是通过正下方的基底热敏电阻层的热敏电阻材料被氧化而形成的金属氧氮化层。

    热敏电阻及其制造方法和热敏电阻传感器

    公开(公告)号:CN111344819A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201980005678.X

    申请日:2019-01-11

    Abstract: 本发明提供一种使用金属制基材可以获得良好的热敏电阻膜且具有高的耐湿性和耐热性等的热敏电阻及其制造方法和热敏电阻传感器。本发明所涉及的热敏电阻具备金属制基材(2)、形成于金属制基材上的绝缘性基底膜(3)、形成于绝缘性基底膜上的热敏电阻膜(4),绝缘性基底膜通过填充金属制基材的表面的凹凸而形成,绝缘性基底膜的表面粗糙度小于金属制基材的表面粗糙度。制造该热敏电阻的方法具有如下工序:在金属制基材上涂布聚硅氮烷;使聚硅氮烷干燥并形成含有N的SiOx的绝缘性基底膜;及将热敏电阻膜成膜于绝缘性基底膜。

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