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公开(公告)号:CN102576192B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201080048213.1
申请日:2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及一种感光性树脂组合物,其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物,其特征在于,含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜,不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象,而且容易调节图案的分辨率,特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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公开(公告)号:CN102246095B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN200980149593.5
申请日:2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,所述低聚硅氧烷化合物是使i)由下述化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到,所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer),从而能够带来工序的简化和生产费用的节约,不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异,特别是使低介电常数绝缘膜成为可能,从而能够降低耗电,并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外,使优异的耐热性带来的低释气成为可能,从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜,而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN101315521B
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN200810109365.2
申请日:2008-06-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物能够实现显影后的平整度、分辨率、耐热性、透过率等性能优异的有机绝缘膜,特别是能够实现高灵敏度的有机绝缘膜,由此通过缩短工序时间而能够提高生产率,不仅如此,同时该感光性树脂组合物能够使膜柔软而提高耐冲击性。本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及一种感光性树脂组合物,其特征在于,该感光性树脂组合物包含0.1重量%~10重量%的选自由邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二异壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯组成的组中的一种以上的化合物作为灵敏度增强剂。
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公开(公告)号:CN101311215B
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN200810099945.8
申请日:2008-05-22
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: C08L33/06 , C08K5/09 , C08K5/3445 , G02B1/10
Abstract: 本发明提供有机保护膜组合物,其在120℃以下的低温固化工序中也具有优异的粘结力、绝缘性、平坦性等性能,适合于液晶显示元件的成像用材料,特别是在后续工序中可使显示元件的耐热性和对溶剂、酸或碱等的耐化学性提高。所述组合物的特征在于,其含有下述成分:a)100重量份丙烯酸系共聚物,所述共聚物是将5~95重量%i)下述化学式1表示的化合物与5~95重量%ii)可与该化学式1的化合物共聚的烯烃系不饱和化合物进行共聚而制造出的;b)0.001~5重量份i)热引发剂或0.001~30重量份ii)光引发剂;c)1~80重量份酸酐化合物;d)0.0001~1重量份咪唑系叔胺化合物;和e)有机溶剂,其使得上述a)~d)成分为有机保护膜组合物的10~50重量%,所述化学式1中,X为氢或甲基。[化学式1]。
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公开(公告)号:CN102576192A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201080048213.1
申请日:2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及一种感光性树脂组合物,其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物,其特征在于,含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜,不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象,而且容易调节图案的分辨率,特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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公开(公告)号:CN101334587B
公开(公告)日:2014-04-09
申请号:CN200810127247.4
申请日:2008-06-30
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物,该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用了有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护膜时,能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少,同时因固化度高而确保耐热性和耐化学稳定性。本发明涉及的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的特征在于,所述组合物含有:a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃~140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂;b)1,2-醌二叠氮化合物;和c)溶剂,该溶剂的沸点为90℃~150℃,且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率定设为1时,该溶剂的蒸发速率为0.3~1.0。
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公开(公告)号:CN101825843B
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201010122249.1
申请日:2010-03-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/031 , G02F1/133345
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成,在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象,而且容易调节图案的分辨率,特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。本发明的感光性树脂组合物的特征是,是用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成的感光性树脂组合物,含有0.01至20重量%的UV稳定剂或者自由基清除剂。
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公开(公告)号:CN101034260B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200710086075.6
申请日:2007-03-08
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物的灵敏度、绝缘性等各种性能优异,特别是具有优异的耐热性,因而可以增加后工序中的可靠性和寿命;此外,可以利用本发明所涉及的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案,可以缩短工序时间,同时还显著地提高面板上的开口率,使其适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。本发明所涉及的感光性树脂组合物的特征在于,其含有a)多羟基苯乙烯类树脂、b)1,2-二叠氮醌化合物、c)光酸发生剂、d)三聚氰胺交联剂、和e)溶剂。
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公开(公告)号:CN102246095A
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN200980149593.5
申请日:2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,所述低聚硅氧烷化合物是使i)由化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到,所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer),从而能够带来工序的简化和生产费用的节约,不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异,特别是使低介电常数绝缘膜成为可能,从而能够降低耗电,并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外,使优异的耐热性带来的低释气成为可能,从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜,而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN101825843A
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN201010122249.1
申请日:2010-03-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/031 , G02F1/133345
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成,在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象,而且容易调节图案的分辨率,特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。本发明的感光性树脂组合物的特征是,是用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成的感光性树脂组合物,含有0.01至20重量%的UV稳定剂或者自由基清除剂。
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