公开(公告)号：CN107533293B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201680023800.2

申请日：2016-05-02

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 朴廷敏 ,  李政洙 ,  金智贤 ,  朴埈弘 ,  金炳旭 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  金东明 ,  金珍善

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/085 ,  G03F7/039 ,  H01L51/50

Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中，下述R1为缩醛和缩酮中的任一种，下述x+y+z＝1。

公开(公告)号：CN107533293A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680023800.2

申请日：2016-05-02

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 朴廷敏 ,  李政洙 ,  金智贤 ,  朴埈弘 ,  金炳旭 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  金东明 ,  金珍善

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/085 ,  G03F7/039 ,  H01L51/50

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/085 ,  H01L51/50

Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中，下述R1为缩醛和缩酮中的任一种，下述x+y+z＝1。