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公开(公告)号:CN107953260B
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN201710727476.9
申请日:2017-08-22
Applicant: 三星电子株式会社 , 二和金刚石工业株式会社
IPC: B24B53/017 , B24B37/005 , B24B49/16 , H01L21/66
Abstract: 一种化学机械抛光(CMP)方法包括准备抛光垫,确定在抛光垫的修整期间要施加到修整盘的第一负荷以及当将第一负荷施加到修整盘时修整盘的尖端插入到抛光垫中的第一压入深度,准备修整盘,并将修整盘置于抛光垫上,并且在将第一负荷施加到修整盘的同时通过使用修整盘来修整抛光垫的表面。
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公开(公告)号:CN109590894A
公开(公告)日:2019-04-09
申请号:CN201810929800.X
申请日:2018-08-15
Applicant: 三星电子株式会社 , 二和金刚石工业株式会社
IPC: B24B37/005 , B24B37/04 , B24B53/017 , B24B53/12 , B24B57/02 , B24D18/00
Abstract: 提供了一种化学机械抛光方法和一种制造半导体器件的方法。所述化学机械抛光方法包括:提供垫整修器,使得所述垫整修器包括底部和从所述底部的表面突出的多个顶端;调节所述多个顶端中的每个顶端的上表面的表面粗糙度;以及使用所述多个顶端的上表面的调节后的表面粗糙度来调节化学机械抛光的抛光速率。
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公开(公告)号:CN107953260A
公开(公告)日:2018-04-24
申请号:CN201710727476.9
申请日:2017-08-22
Applicant: 三星电子株式会社 , 二和金刚石工业株式会社
IPC: B24B53/017 , B24B37/005 , B24B49/16 , H01L21/66
CPC classification number: B24B53/017 , B24B37/005 , B24B37/042 , H01L21/3212 , H01L21/76802 , H01L21/7684 , H01L21/76843 , H01L21/76877 , H01L22/12 , H01L22/20 , B24B37/0053 , B24B49/16 , H01L22/26
Abstract: 一种化学机械抛光(CMP)方法包括准备抛光垫,确定在抛光垫的修整期间要施加到修整盘的第一负荷以及当将第一负荷施加到修整盘时修整盘的尖端插入到抛光垫中的第一压入深度,准备修整盘,并将修整盘置于抛光垫上,并且在将第一负荷施加到修整盘的同时通过使用修整盘来修整抛光垫的表面。
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公开(公告)号:CN1254853A
公开(公告)日:2000-05-31
申请号:CN99120853.6
申请日:1999-09-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/39
CPC classification number: H01S3/06754 , H01S3/06766 , H01S3/0677 , H01S3/094003 , H01S3/2383
Abstract: 一项提供1,580纳米波长的光纤放大器的技术,该光纤放大器的结构是C-波段二氧化硅基搀杂铒的光纤放大器(EDFA)级和L-波段EDFA级以如下方式并行耦合在一起,即C-波段或L-波段EDFA级发射的反向放大自发(ASE)光在L-波段EDFA级被再利用作为放大的辅助泵浦源。
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公开(公告)号:CN1247642A
公开(公告)日:2000-03-15
申请号:CN98802424.1
申请日:1998-10-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01S3/06754 , H01S3/06708 , H01S2301/04 , H01S2301/06
Abstract: 本发明涉及能够减小温度相关增益曲线失真的光纤放大器。光纤放大器使用两种类型的光纤。它们串联以便补偿温度相关增益曲线失真。
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公开(公告)号:CN1248706A
公开(公告)日:2000-03-29
申请号:CN99118712.1
申请日:1999-09-10
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02B6/26
CPC classification number: H01S3/094003 , H01S3/06758 , H01S3/094023 , H01S3/1608 , H01S2301/02 , H01S2301/04
Abstract: 一种高功率和宽波段光纤光源,包括第一搀杂稀土光纤;第二搀杂稀土光纤;一个光学耦合器,耦合在第一与第二搀杂稀土光纤之间,并适合于将输入泵浦光传输到第二搀杂稀土光纤;以及一个泵浦源,适合于为光学耦合器提供泵浦光,作为输入泵浦光。
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公开(公告)号:CN1109386C
公开(公告)日:2003-05-21
申请号:CN98802424.1
申请日:1998-10-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01S3/06754 , H01S3/06708 , H01S2301/04 , H01S2301/06
Abstract: 本发明涉及能够减小温度相关增益曲线失真的光纤放大器。光纤放大器使用两种类型的光纤。它们串联以便补偿温度相关增益曲线失真。
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公开(公告)号:CN1134703C
公开(公告)日:2004-01-14
申请号:CN99118405.X
申请日:1999-08-25
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H04B10/291 , H01S3/06758 , H01S3/094023
Abstract: 一种提高功率转换效率的长频带光纤放大器,包括:设有泵光源的第一光纤部分;与第一光纤部分连接的不设置泵光源的第二光纤部分;以及重用电路,用以利用经过放大的自发发射(ASE)作为用于第二光纤部分的二次泵光源。重用电路最好包括连接在第一和第二光纤部分之间的WDM耦合器和与WDM耦合器连接的光泵装置,以提供泵光源。第一和第二光纤部分包括铒掺杂光纤。调整铒掺杂光纤,以便在L-频带中产生增益。
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公开(公告)号:CN1218446C
公开(公告)日:2005-09-07
申请号:CN99118712.1
申请日:1999-09-10
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01S3/094003 , H01S3/06758 , H01S3/094023 , H01S3/1608 , H01S2301/02 , H01S2301/04
Abstract: 一种高功率和宽波段光纤光源,包括第一搀杂稀土光纤;第二搀杂稀土光纤;一个光学耦合器,耦合在第一与第二搀杂稀土光纤之间,并适合于将输入泵浦光传输到第二搀杂稀土光纤;以及一个泵浦源,适合于为光学耦合器提供泵浦光,作为输入泵浦光。
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公开(公告)号:CN1138178C
公开(公告)日:2004-02-11
申请号:CN99120853.6
申请日:1999-09-30
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01S3/06754 , H01S3/06766 , H01S3/0677 , H01S3/094003 , H01S3/2383
Abstract: 一项提供1,580纳米波长的光纤放大器的技术,该光纤放大器的结构是C-波段二氧化硅基掺杂铒的光纤放大器(EDFA)级和L-波段EDFA级以如下方式并行耦合在一起,即C-波段或L-波段EDFA级发射的反向放大自发(ASE)光在L-波段EDFA级被再利用作为放大的辅助泵浦源。
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