用于集成电路的互连及其制造方法

    公开(公告)号:CN109817568B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN201811182488.9

    申请日:2018-10-11

    Abstract: 本发明涉及一种用于集成电路的互连及其制造方法,该方法包括:形成包括至少一个线的互连布局,所述至少一个线包括非扩散材料;在线上形成扩散阻挡层;形成开口,该开口完全延伸穿过扩散阻挡层并暴露线的一部分;在扩散阻挡层上沉积扩散层,使得扩散层的一部分接触线的所述部分;以及使扩散层热反应以形成金属性互连。使扩散层热反应将扩散层的材料化学地扩散到所述至少一个线中,并导致至少一个晶粒沿着所述至少一个线的长度从至少一个成核位置生长,所述至少一个成核位置被限定在扩散层的所述部分与线的所述部分之间的界面处。

    可用于逻辑芯片存储器的基于铁电的存储器单元

    公开(公告)号:CN110391239B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN201910170977.0

    申请日:2019-03-07

    Abstract: 描述了一种存储器单元和利用该存储器单元的方法。存储器单元包括至少一个铁电晶体管(FE晶体管)和与FE晶体管耦合的至少一个选择晶体管。FE晶体管包括用于存储数据的铁电电容器和晶体管。铁电电容器包括(多个)铁电材料。在一些方面,存储器单元由FE晶体管和选择晶体管组成。在一些方面,FE晶体管的晶体管包括源极、漏极和与铁电电容器耦合的栅极。在这方面,选择晶体管包括选择晶体管源极、选择晶体管漏极和选择晶体管栅极。在这方面,存储器单元的编程端口是选择晶体管源极或选择晶体管漏极。选择晶体管源极和漏极中的另一个耦合到铁电电容器。

    可变精度神经形态学结构

    公开(公告)号:CN109284816A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201810808895.X

    申请日:2018-07-20

    Abstract: 一种用于通过编程在神经网络中提供可变精度的神经形态学结构。逻辑突触前神经元形成为物理突触前人工神经元的可配置集合,逻辑突触后神经元形成为物理突触后人工神经元的可配置集合,并且逻辑突触前神经元通过逻辑突触连接至逻辑突触后神经元,每个逻辑突触包括物理人工突触的集合。逻辑突触的权重的精度可以通过改变每个逻辑突触前神经元中的物理突触前人工神经元的数量和/或通过改变每个逻辑突触后神经元中的物理突触后人工神经元的数量而被改变。

    可用于逻辑芯片存储器的基于铁电的存储器单元

    公开(公告)号:CN110391239A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910170977.0

    申请日:2019-03-07

    Abstract: 描述了一种存储器单元和利用该存储器单元的方法。存储器单元包括至少一个铁电晶体管(FE晶体管)和与FE晶体管耦合的至少一个选择晶体管。FE晶体管包括用于存储数据的铁电电容器和晶体管。铁电电容器包括(多个)铁电材料。在一些方面,存储器单元由FE晶体管和选择晶体管组成。在一些方面,FE晶体管的晶体管包括源极、漏极和与铁电电容器耦合的栅极。在这方面,选择晶体管包括选择晶体管源极、选择晶体管漏极和选择晶体管栅极。在这方面,存储器单元的编程端口是选择晶体管源极或选择晶体管漏极。选择晶体管源极和漏极中的另一个耦合到铁电电容器。

    用于集成电路的互连及其制造方法

    公开(公告)号:CN109817568A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201811182488.9

    申请日:2018-10-11

    Abstract: 本发明涉及一种用于集成电路的互连及其制造方法,该方法包括:形成包括至少一个线的互连布局,所述至少一个线包括非扩散材料;在线上形成扩散阻挡层;形成开口,该开口完全延伸穿过扩散阻挡层并暴露线的一部分;在扩散阻挡层上沉积扩散层,使得扩散层的一部分接触线的所述部分;以及使扩散层热反应以形成金属性互连。使扩散层热反应将扩散层的材料化学地扩散到所述至少一个线中,并导致至少一个晶粒沿着所述至少一个线的长度从至少一个成核位置生长,所述至少一个成核位置被限定在扩散层的所述部分与线的所述部分之间的界面处。

Patent Agency Ranking