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公开(公告)号：CN1088558C
公开(公告)日：2002-08-07
申请号：CN98105655.5
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR-终端过滤器和MB-终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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公开(公告)号：CN1247980C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN98107085.X
申请日：1998-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G01N1/2202 , G01N1/24 , G01N2001/2223 , G01N2001/2282 , G01N2001/4066
Abstract: 本发明提供了在半导体洁净室中可溶于水的污染物的分析方法和所用的仪器。可溶于水的污染物的分析方法包括以下步骤：a)冷凝要被分析的参比空气并液化在该参比空气中所含的水；b)将压力施加到被液化的水滴上并将水滴输送到分析器；以及c)利用该分析器进行定性和定量分析。该仪器包括用于吸取参比空气的空气入口；用于控制该参比空气的流量控制阀；用于冷凝在该参比空气中的水的冷凝器；用于将压力施加到通过冷凝被液化的水滴上使水滴被输送到分析器的压力泵；以及用于排放过量水滴的排放泵。
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公开(公告)号：CN1276222C
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN02154534.0
申请日：2002-12-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 配置新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道流入洁净室，新鲜空气具有第一颗粒浓度。对位于空调系统下游而位于洁净室上游的新鲜空气管道上的单独颗粒过滤器进行配置，以进一步过滤新鲜空气，从而提供具有第二颗粒浓度的过滤的新鲜空气，第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。而且还披露了有关方法。
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公开(公告)号：CN101230888A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810003694.9
申请日：2008-01-21
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: F16F15/02 , H01L21/6719
Abstract: 公开了一种振动控制架及其安装方法，包括在将设备，包括半导体设备从一个振动控制架向另一个移动时，用于减少微粒和振动的方法。振动控制架包括设备支撑体，具有至少两个设备支撑单元。单元连接部件穿过设备支撑单元的侧面并且使设备支撑单元彼此连接。安装在设备支撑体下面的底部结构支撑设备支撑体。
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公开(公告)号：CN100384753C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN01135848.3
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR-终端过滤器和MB-终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1218906A
公开(公告)日：1999-06-09
申请号：CN98107085.X
申请日：1998-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G01N1/2202 , G01N1/24 , G01N2001/2223 , G01N2001/2282 , G01N2001/4066
Abstract: 本发明提供了在半导体洁净室中可溶于水的污染物的分析方法和所用的仪器。可溶于水的污染物的分析方法包括以下步骤:a)冷凝要被分析的参比空气并液化在该参比空气中所含的水;b)将压力施加到被液化的水滴上并将水滴输送到分析器;以及c)利用该分析器进行定性和定量分析。该仪器包括用于吸取参比空气的空气入口;用于控制该参比空气的流量控制阀;用于冷凝在该参比空气中的水的冷凝器;用于将压力施加到通过冷凝被液化的水滴上使水滴被输送到分析器的压力泵;以及用于排放过量水滴的排放泵。
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公开(公告)号：CN101241837A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810001916.3
申请日：2008-01-03
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: F24F11/72 , F24F2110/40
Abstract: 本申请涉及排气单元，排气方法，和具有排气单元的半导体制造设备。提供了一种排气单元，该排气单元能够防止由于大气压力变化引起工艺室内的大的压力波动。该排气单元包括主排气管和作为部分旁路的辅排气管。翼片位于主排气管和辅排气管之间的下游开口处，并且控制从辅排气管流至主排气管的旁通气体的量。翼片的第一板和第二板枢轴地联接至在下游开口附近的主排气管，第一板与流过主排气管的气体相碰撞，第二板部分阻塞从辅排气管流回至主排气管的旁通气体。当气体通过主排气管路和辅排气管排出时，翼片被动地控制辅排气管由于大气压力波动而打开的量。
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公开(公告)号：CN1467442A
公开(公告)日：2004-01-14
申请号：CN02154534.0
申请日：2002-12-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 配置新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道流入洁净室，新鲜空气具有第一颗粒浓度。对位于空调系统下游而位于洁净室上游的新鲜空气管道上的单独颗粒过滤器进行配置，以进一步过滤新鲜空气，从而提供具有第二颗粒浓度的过滤的新鲜空气，第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。而且还披露了有关方法。
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公开(公告)号：CN1394814A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：CN01135848.3
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR－终端过滤器和MB－终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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公开(公告)号：CN1196884A
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：CN98105655.5
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢,过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物,一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法,以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统,该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有:用热水对超纯水传输系统的OR－终端过滤器和MB－终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤),以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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