公开(公告)号：CN1218906A

公开(公告)日：1999-06-09

申请号：CN98107085.X

申请日：1998-02-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘南姬 ,  李东洙 ,  李顺荣 ,  黄正性

IPC: G01N30/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N1/2202 ,  G01N1/24 ,  G01N2001/2223 ,  G01N2001/2282 ,  G01N2001/4066

Abstract: 本发明提供了在半导体洁净室中可溶于水的污染物的分析方法和所用的仪器。可溶于水的污染物的分析方法包括以下步骤:a)冷凝要被分析的参比空气并液化在该参比空气中所含的水;b)将压力施加到被液化的水滴上并将水滴输送到分析器;以及c)利用该分析器进行定性和定量分析。该仪器包括用于吸取参比空气的空气入口;用于控制该参比空气的流量控制阀;用于冷凝在该参比空气中的水的冷凝器;用于将压力施加到通过冷凝被液化的水滴上使水滴被输送到分析器的压力泵;以及用于排放过量水滴的排放泵。

公开(公告)号：CN1191897A

公开(公告)日：1998-09-02

申请号：CN97117346.X

申请日：1997-08-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金仁燮 ,  金承彦 ,  刘南姬 ,  李顺荣

IPC: C12N1/20 ,  C12N9/08 ,  C02F1/50 ,  C12R1

CPC classification number: C12N9/0065 ,  C12P19/04 ,  C12Q1/22 ,  C12R1/265 ,  C12Y111/01006

Abstract: 本发明提供对过氧化氢浓度表现出线性存活曲线的新微生物,以建立用过氧化氢灭菌的标准。新微生物—藤黄微球菌HN－2—11具有抗过氧化氢的机制,并对过氧化氢浓度表现出线性半对数存活曲线。

公开(公告)号：CN1109751C

公开(公告)日：2003-05-28

申请号：CN97117346.X

申请日：1997-08-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金仁燮 ,  金承彦 ,  刘南姬 ,  李顺荣

IPC: C12N1/20 ,  C12N9/08 ,  C02F1/50 ,  C12R1/265

CPC classification number: C12N9/0065 ,  C12P19/04 ,  C12Q1/22 ,  C12R1/265 ,  C12Y111/01006

Abstract: 本发明提供对过氧化氢浓度表现出线性存活曲线的新微生物，以建立用过氧化氢灭菌的标准。新微生物-藤黄微球菌HN-2-11具有抗过氧化氢的机制，并对过氧化氢浓度表现出线性半对数存活曲线。

公开(公告)号：CN1247980C

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN98107085.X

申请日：1998-02-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘南姬 ,  李东洙 ,  李顺荣 ,  黄正性

IPC: G01N1/22 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N1/2202 ,  G01N1/24 ,  G01N2001/2223 ,  G01N2001/2282 ,  G01N2001/4066

Abstract: 本发明提供了在半导体洁净室中可溶于水的污染物的分析方法和所用的仪器。可溶于水的污染物的分析方法包括以下步骤：a)冷凝要被分析的参比空气并液化在该参比空气中所含的水；b)将压力施加到被液化的水滴上并将水滴输送到分析器；以及c)利用该分析器进行定性和定量分析。该仪器包括用于吸取参比空气的空气入口；用于控制该参比空气的流量控制阀；用于冷凝在该参比空气中的水的冷凝器；用于将压力施加到通过冷凝被液化的水滴上使水滴被输送到分析器的压力泵；以及用于排放过量水滴的排放泵。