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公开(公告)号:CN1144044C
公开(公告)日:2004-03-31
申请号:CN98104387.9
申请日:1998-01-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N33/36
CPC classification number: G01N33/367
Abstract: 一种测试欲用来制作在制造半导体芯片的净化室环境中使用的工作服、口罩和手套的布料的过滤效率的方法和装置。所述装置包括,一支架;一气体电离器;一可选的加湿器;一颗粒发生器和一颗粒计数组件。在用电离气体除去测量室中的静电,并可选地调整测量室中的温度和湿度后,引入颗粒至测量室中。通过计量引入测量室中的颗粒总数和穿过布料样品的颗粒数来确定过滤效率。基于过滤效率,可以确定用这种布料制作的无尘服的使用寿命。
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公开(公告)号:CN1467442A
公开(公告)日:2004-01-14
申请号:CN02154534.0
申请日:2002-12-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 配置新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道流入洁净室,新鲜空气具有第一颗粒浓度。对位于空调系统下游而位于洁净室上游的新鲜空气管道上的单独颗粒过滤器进行配置,以进一步过滤新鲜空气,从而提供具有第二颗粒浓度的过滤的新鲜空气,第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。而且还披露了有关方法。
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公开(公告)号:CN1104523C
公开(公告)日:2003-04-02
申请号:CN98103438.1
申请日:1998-07-28
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: D06M17/00
CPC classification number: B32B27/12 , A41D31/02 , B32B5/024 , B32B5/026 , B32B7/14 , B32B27/40 , B32B2262/0276 , B32B2375/00 , Y10T156/10 , Y10T428/2481 , Y10T428/24818 , Y10T428/24826 , Y10T442/2008 , Y10T442/2418 , Y10T442/2475 , Y10T442/3179 , Y10T442/3293 , Y10T442/365 , Y10T442/3854 , Y10T442/40
Abstract: 提供一种半导体净化室用防尘织物,能够实现高防尘性能和高穿着舒适性,这种防尘织物包括:由针织品构成的内层;固定于内层上且由非微孔型高吸湿性聚氨基甲酸酯树脂膜形成的中间层;固定于中间层上的外层,该层由高密度的聚酯纺织品形成,具有彼此间以很小间距排列的导电丝经线和纬线。
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公开(公告)号:CN1221052A
公开(公告)日:1999-06-30
申请号:CN98103438.1
申请日:1998-07-28
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: D06M17/00
CPC classification number: B32B27/12 , A41D31/02 , B32B5/024 , B32B5/026 , B32B7/14 , B32B27/40 , B32B2262/0276 , B32B2375/00 , Y10T156/10 , Y10T428/2481 , Y10T428/24818 , Y10T428/24826 , Y10T442/2008 , Y10T442/2418 , Y10T442/2475 , Y10T442/3179 , Y10T442/3293 , Y10T442/365 , Y10T442/3854 , Y10T442/40
Abstract: 提供一种半导体净化室用防尘织物,能够实现高防尘性能和高穿着舒适性,这种防尘织物包括:由针织品构成的内层;固定于内层上且由非微孔型高吸湿性聚氨基甲酸酯树脂膜形成的中间层;固定于中间层上的外层,该层由高密度的聚酯纺织品形成,具有彼此间以很小间距排列的导电丝经线和纬线。
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公开(公告)号:CN1196484A
公开(公告)日:1998-10-21
申请号:CN98104387.9
申请日:1998-01-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N33/36
CPC classification number: G01N33/367
Abstract: 一种测试欲用来制作在制造半导体芯片的净化室环境中使用的工作服、口罩和手套的布料的过滤效率的方法和装置。所述装置包括,一支架;一气体电离器;一可选的加湿器;一颗粒发生器和一颗粒计数组件。在用电离气体除去测量室中的静电,并可选地调整测量室中的温度和湿度后,引入颗粒至测量室中。通过计量引入测量室中的颗粒总数和穿过布料样品的颗粒数来确定过滤效率。基于过滤效率,可以确定用这种布料制作的无尘服的使用寿命。
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公开(公告)号:CN1276222C
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN02154534.0
申请日:2002-12-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 配置新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道流入洁净室,新鲜空气具有第一颗粒浓度。对位于空调系统下游而位于洁净室上游的新鲜空气管道上的单独颗粒过滤器进行配置,以进一步过滤新鲜空气,从而提供具有第二颗粒浓度的过滤的新鲜空气,第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。而且还披露了有关方法。
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