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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100384753C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN01135848.3
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR-终端过滤器和MB-终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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公开(公告)号：CN1394814A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：CN01135848.3
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR－终端过滤器和MB－终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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公开(公告)号：CN1196884A
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：CN98105655.5
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢,过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物,一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法,以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统,该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有:用热水对超纯水传输系统的OR－终端过滤器和MB－终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤),以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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公开(公告)号：CN1218770A
公开(公告)日：1999-06-09
申请号：CN98117481.7
申请日：1998-09-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C02F1/00
CPC classification number: C02F1/725 , B01J19/123 , C02F1/32 , Y10S210/90
Abstract: 这里提供了半导体器件制备过程中的一种光氧化设备、一种水处理系统以及一种水处理方法,其中用于生产线的水是初始水中的有机物等已经去掉后的水。水处理系统的光氧化设备包括:用来氧化预处理后的水中的有机物的发出固定波长紫外线的紫外灯;包括紫外灯、水流入口与出口的光氧化部分;用来在固定波长紫外线照射下激发有机物氧化并位于光氧化部分内壁的催化部分。
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公开(公告)号：CN1088558C
公开(公告)日：2002-08-07
申请号：CN98105655.5
申请日：1998-01-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61L2/186 , A01N37/16 , B01D65/022 , B01D2321/08 , B01D2321/162 , B01D2321/343 , C02F1/32 , C02F1/444 , C02F1/50 , C02F1/722 , C02F2103/04 , Y10S210/90 , A01N2300/00
Abstract: 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR-终端过滤器和MB-终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
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