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公开(公告)号：CN101230888A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810003694.9
申请日：2008-01-21
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: F16F15/02 , H01L21/6719
Abstract: 公开了一种振动控制架及其安装方法，包括在将设备，包括半导体设备从一个振动控制架向另一个移动时，用于减少微粒和振动的方法。振动控制架包括设备支撑体，具有至少两个设备支撑单元。单元连接部件穿过设备支撑单元的侧面并且使设备支撑单元彼此连接。安装在设备支撑体下面的底部结构支撑设备支撑体。
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