公开(公告)号：CN114388507A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202111216535.9

申请日：2021-10-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 张锡和 ,  金冈昱 ,  鲁贤硕 ,  朴容臣 ,  宣潒珪 ,  李善英 ,  李昭享 ,  李泓浚 ,  郑湖璇 ,  陈姃玟 ,  崔贞姬 ,  崔秦瑞 ,  洪世罗

IPC: H01L27/108

Abstract: 一种制造半导体装置的方法包括：形成包括多个晶体管的下部结构；在下部结构上形成导电层；在导电层上形成第一初步焊盘掩模图案和布线掩模图案；在保护布线掩模图案的同时，通过图案化第一初步焊盘掩模图案来形成焊盘掩模图案；以及使用焊盘掩模图案和布线掩模图案作为蚀刻掩模来蚀刻导电层，以形成焊盘图案和布线图案。

公开(公告)号：CN116507116A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202211308186.8

申请日：2022-10-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑湖璇 ,  金珉宇 ,  宋正宇 ,  李垣哲

IPC: H10B12/00

Abstract: 提供了一种半导体存储器装置，所述半导体存储器装置包括：基底，包括存储器单元、外围区域和中间区域；器件隔离图案；分隔图案；位线，在第一方向上延伸到中间区域与外围区域之间的边界；存储节点接触件，在存储器单元区域上并且填充位线之间的空间的下部分；接合垫，在存储节点接触件上；虚设存储节点接触件，在中间区域上并且填充位线之间的空间的下部分；虚设接合垫，在虚设存储节点接触件上；以及坝结构，在中间区域上、在所述第一方向上延伸并且具有条形状，其中，虚设接合垫在第二方向上与坝结构的边缘间隔开，并且虚设存储节点接触件与分隔图案接触。