公开(公告)号：CN111220904B

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN201911092231.9

申请日：2019-11-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林美现 ,  金成烈 ,  赵成根 ,  朱愿暾 ,  金宰弘 ,  金泽真 ,  李庆旼 ,  李相珉

IPC: G01R31/309 ,  G01N21/956 ,  G02B27/28

Abstract: 提供了测试互连基板的方法和用于执行该方法的装置。在测试互连基板的方法中，可以设置从具有本征光学特性的探头反射的参考光的阻挡条件。从具有多个电路的测试互连基板发射的电场可以使探头的本征光学特性改变为测试光学特性。可以使光照射到具有测试光学特性的探头上。可以根据阻挡条件，阻挡从具有测试光学特性的探头反射的参考光。可以检测可能由于异常电路产生的剩余的反射光。

公开(公告)号：CN111220904A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201911092231.9

申请日：2019-11-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林美现 ,  金成烈 ,  赵成根 ,  朱愿暾 ,  金宰弘 ,  金泽真 ,  李庆旼 ,  李相珉

IPC: G01R31/309 ,  G01N21/956 ,  G02B27/28

Abstract: 提供了测试互连基板的方法和用于执行该方法的装置。在测试互连基板的方法中，可以设置从具有本征光学特性的探头反射的参考光的阻挡条件。从具有多个电路的测试互连基板发射的电场可以使探头的本征光学特性改变为测试光学特性。可以使光照射到具有测试光学特性的探头上。可以根据阻挡条件，阻挡从具有测试光学特性的探头反射的参考光。可以检测可能由于异常电路产生的剩余的反射光。