用于修补平板显示器中的制造缺陷的设备和方法

    公开(公告)号:CN1945384A

    公开(公告)日:2007-04-11

    申请号:CN200610139941.9

    申请日:2006-09-27

    CPC classification number: G02F1/136259

    Abstract: 用于修补显示装置的设备和方法,该显示装置包括其上形成有多条信号线的第一衬底和/或其上形成有多个滤色器的第二衬底,该设备包括辐射出激光的激光器,所述激光具有在大约750至大约850nm或者在大约1000至大约1100nm的范围内的波长且从飞秒(10-15秒)至皮秒(10-12秒)的脉冲宽度,并布置成使得激光能够聚焦在选定的信号线和/或滤色器上。该装置能够仅仅使用单个激光器设备在多个制造测试工序中的任何一个的过程中在显示装置上实施修补,而不需要针对每一个测试工序的额外的或不同的修补装置。

    光刻装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1637613A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410095448.2

    申请日:2004-10-27

    CPC classification number: G03F7/70991 Y10S414/14

    Abstract: 提供一种光刻装置,包括:在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机;存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器;对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器;转动从烘焙器提供的基板的第一转台;使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器;对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机;对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机;以及使得基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。

    光刻装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100465788C

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200410095448.2

    申请日:2004-10-27

    CPC classification number: G03F7/70991 Y10S414/14

    Abstract: 提供一种光刻装置,包括:在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机;存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器;对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器;转动从烘焙器提供的基板的第一转台;使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器;对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机;对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机;以及使得基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。

    液晶显示器基板的制造
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1945812B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200610139943.8

    申请日:2006-09-27

    CPC classification number: H01L27/124

    Abstract: 用于制造LCD基板的方法和装置,包括:在底部基板上形成像素开关元件的栅电极;在所述底部基板上形成栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层上形成所述开关元件的源电极和漏电极;在所述底部基板上形成保护绝缘层;将激光光束辐射到基板上,以形成使所述漏电极的一小部分曝光的第一接触孔;以及在基板上形成通过所述第一接触孔电连接到所述漏电极的像素电极。所述方法和装置均简化制造LCD基板的过程并使所述过程更加可靠。

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