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公开(公告)号:CN1637613A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200410095448.2
申请日:2004-10-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70991 , Y10S414/14
Abstract: 提供一种光刻装置,包括:在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机;存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器;对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器;转动从烘焙器提供的基板的第一转台;使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器;对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机;对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机;以及使得基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。
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公开(公告)号:CN101286334A
公开(公告)日:2008-10-15
申请号:CN200710199476.2
申请日:2007-12-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H04S7/30 , G11B31/02 , H04R3/04 , H04R2420/07
Abstract: 本发明提供了一种电子装置和该电子装置的控制方法。通过移动外部装置以移动电子装置的连接器或拨号盘式开关,用户可以在电子装置和连接到电子装置的外部装置之间执行数据通信,以容易地操纵电子装置。
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公开(公告)号:CN100465788C
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200410095448.2
申请日:2004-10-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70991 , Y10S414/14
Abstract: 提供一种光刻装置,包括:在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机;存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器;对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器;转动从烘焙器提供的基板的第一转台;使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器;对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机;对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机;以及使得基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。
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公开(公告)号:CN1716093A
公开(公告)日:2006-01-04
申请号:CN200510072054.X
申请日:2005-05-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0007 , G03F7/0048 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 本发明涉及一种用于液晶显示器的有机层光致抗蚀剂组合物,可将其用于大型基片、利用该组合物的无旋转涂布方法、用于制造有机层图案的方法、以及具有该有机层图案的液晶显示器。具体而言,液晶显示光致抗蚀剂组合物包括具有约2,000至约20,000范围的平均分子量的有机聚合树脂、二甘醇甲乙醚(EDM)和具有比EDM低的蒸汽压的溶剂的混合溶剂、以及感光剂。
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