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公开(公告)号：CN109720874A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811213590.0
申请日：2018-10-18
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明公开一种基板传送装置和包括该基板传送装置的基板检查装置，其中该基板传送装置包括：至少一个悬浮板，其在第一方向上延伸；第一抽吸移动器，其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在第一方向上移动，并且包括第一吸垫和第一旋转驱动部分，第一吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋转驱动部分配置为使第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其被设置为与第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在第一方向上移动，并且包括第二吸垫和第二旋转驱动部分，第二吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋转驱动部分配置为使第二吸垫绕第二中心轴线旋转。
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公开(公告)号：CN110391153B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN201910275042.9
申请日：2019-04-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 提供了一种用于半导体工艺的检查设备和半导体工艺装置，该检查设备包括：传送器，被构造为在多个腔室之间传送工艺目标；至少一个线照相机，安装在传送器上方，所述至少一个线照相机被构造为通过捕获由传送器传送的工艺目标的图像来生成原始图像；以及控制器，被构造为接收原始图像并且被构造为通过校正原始图像的由于传送器的传送速度的变化导致的失真来执行工艺目标的检查。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108663609B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201810263366.6
申请日：2018-03-28
IPC: G01R31/26
Abstract: 一种拾取装置包括沿着第一方向滑动的多个拾取器以及包括多个空间调节板的空间调节器。每个拾取器包括与拾取器主体组合的突出部分，以及每个空间调节板在相邻拾取器的相应对之间。每个拾取器的突出部分接触相邻空间调节板的侧壁。空间调节板中的至少一个沿着交叉第一方向的第二方向移动。每个空间调节板在第一方向上的宽度沿着第二方向变化。
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公开(公告)号：CN108663609A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810263366.6
申请日：2018-03-28
IPC: G01R31/26
CPC classification number: H01L21/6838 , B25J15/0061 , B25J15/0226 , B25J15/0616 , G01R31/2601
Abstract: 一种拾取装置包括沿着第一方向滑动的多个拾取器以及包括多个空间调节板的空间调节器。每个拾取器包括与拾取器主体组合的突出部分，以及每个空间调节板在相邻拾取器的相应对之间。每个拾取器的突出部分接触相邻空间调节板的侧壁。空间调节板中的至少一个沿着交叉第一方向的第二方向移动。每个空间调节板在第一方向上的宽度沿着第二方向变化。
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公开(公告)号：CN110391153A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910275042.9
申请日：2019-04-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 提供了一种用于半导体工艺的检查设备和半导体工艺装置，该检查设备包括：传送器，被构造为在多个腔室之间传送工艺目标；至少一个线照相机，安装在传送器上方，所述至少一个线照相机被构造为通过捕获由传送器传送的工艺目标的图像来生成原始图像；以及控制器，被构造为接收原始图像并且被构造为通过校正原始图像的由于传送器的传送速度的变化导致的失真来执行工艺目标的检查。
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公开(公告)号：CN109752381A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201811044729.3
申请日：2018-09-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本申请涉及表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法，其中该表面检查装置包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。
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公开(公告)号：CN109560011A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811067563.7
申请日：2018-09-13
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67
CPC classification number: B65G49/065 , B65G49/064 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , H01L21/67288 , H01L21/67784 , H01L21/67242
Abstract: 提供了一种基板检查系统。所述基板检查系统包括：浮动单元，被配置为浮动基板；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方并且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及照明单元，被配置为产生光。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。
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