基板传送装置和包括其的基板检查装置

    公开(公告)号:CN109720874A

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201811213590.0

    申请日:2018-10-18

    Abstract: 本发明公开一种基板传送装置和包括该基板传送装置的基板检查装置,其中该基板传送装置包括:至少一个悬浮板,其在第一方向上延伸;第一抽吸移动器,其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在第一方向上移动,并且包括第一吸垫和第一旋转驱动部分,第一吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第一部分,第一旋转驱动部分配置为使第一吸垫绕第一中心轴线旋转;以及第二抽吸移动器,其被设置为与第一抽吸移动器间隔开,并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在第一方向上移动,并且包括第二吸垫和第二旋转驱动部分,第二吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第二部分,第二旋转驱动部分配置为使第二吸垫绕第二中心轴线旋转。

    表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法

    公开(公告)号:CN109752381A

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201811044729.3

    申请日:2018-09-07

    Abstract: 本申请涉及表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法,其中该表面检查装置包括:第一相机,所述第一相机拍摄待检查物体的图像;半透半反镜,所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方;光源,所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置,所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光,并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器,所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。

    基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN109560011A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811067563.7

    申请日:2018-09-13

    Abstract: 提供了一种基板检查系统。所述基板检查系统包括:浮动单元,被配置为浮动基板;检查单元,布置在浮动单元上方;握持单元,布置在检查单元下方并且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件;握持传送单元,被配置为沿第一方向移动握持单元;以及照明单元,被配置为产生光。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板,照明单元布置在握持单元的移动路径上,以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件,第一支撑构件包括第一开口,照明单元插入第一开口中。

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