公开(公告)号：CN101055351A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200610108383.X

申请日：2006-08-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金成采 ,  徐济玩 ,  许瑛 ,  卞胜健 ,  金钉鹤

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明涉及包括LCD的显示器件的校准装置及其方法，其目的在于利用能在显示器件的制造工艺中具有短路棒的画质检测工艺的短路棒结构上实现的简单重复的图案来进行校准。为此，本发明所提供的显示器件的图像校准方法，包含步骤：向检查用显示器件供应校准图案；采集所供应的校准图案的图像而进行校准。

公开(公告)号：CN110391153B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201910275042.9

申请日：2019-04-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 程明灏 ,  柳永洙 ,  金成采 ,  金锺洙 ,  徐元国 ,  崔昌勋 ,  河政秀

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 提供了一种用于半导体工艺的检查设备和半导体工艺装置，该检查设备包括：传送器，被构造为在多个腔室之间传送工艺目标；至少一个线照相机，安装在传送器上方，所述至少一个线照相机被构造为通过捕获由传送器传送的工艺目标的图像来生成原始图像；以及控制器，被构造为接收原始图像并且被构造为通过校正原始图像的由于传送器的传送速度的变化导致的失真来执行工艺目标的检查。

公开(公告)号：CN110391153A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910275042.9

申请日：2019-04-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 程明灏 ,  柳永洙 ,  金成采 ,  金锺洙 ,  徐元国 ,  崔昌勋 ,  河政秀

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 提供了一种用于半导体工艺的检查设备和半导体工艺装置，该检查设备包括：传送器，被构造为在多个腔室之间传送工艺目标；至少一个线照相机，安装在传送器上方，所述至少一个线照相机被构造为通过捕获由传送器传送的工艺目标的图像来生成原始图像；以及控制器，被构造为接收原始图像并且被构造为通过校正原始图像的由于传送器的传送速度的变化导致的失真来执行工艺目标的检查。

公开(公告)号：CN100520499C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610108383.X

申请日：2006-08-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金成采 ,  徐济玩 ,  许瑛 ,  卞胜健 ,  金钉鹤

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明涉及包括LCD的显示器件的校准装置及其校准方法，其目的在于利用能在显示器件的制造工艺中具有短路棒的画质检测工艺的短路棒结构上实现的简单重复的图案来进行校准。为此，本发明所提供的显示器件的图像校准方法，包含步骤：向检查用显示器件供应校准图案；采集所供应的校准图案的图像而进行校准。