公开(公告)号：CN109560011A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201811067563.7

申请日：2018-09-13

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹贵玹 ,  徐元国 ,  许瑛

IPC: H01L21/67

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G49/064 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/67242

Abstract: 提供了一种基板检查系统。所述基板检查系统包括：浮动单元，被配置为浮动基板；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方并且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及照明单元，被配置为产生光。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。

公开(公告)号：CN100520499C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610108383.X

申请日：2006-08-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金成采 ,  徐济玩 ,  许瑛 ,  卞胜健 ,  金钉鹤

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明涉及包括LCD的显示器件的校准装置及其校准方法，其目的在于利用能在显示器件的制造工艺中具有短路棒的画质检测工艺的短路棒结构上实现的简单重复的图案来进行校准。为此，本发明所提供的显示器件的图像校准方法，包含步骤：向检查用显示器件供应校准图案；采集所供应的校准图案的图像而进行校准。

公开(公告)号：CN109720874A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811213590.0

申请日：2018-10-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 徐元国 ,  尹贵玹 ,  许瑛

IPC: B65G49/06 ,  B65G51/03 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明公开一种基板传送装置和包括该基板传送装置的基板检查装置，其中该基板传送装置包括：至少一个悬浮板，其在第一方向上延伸；第一抽吸移动器，其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在第一方向上移动，并且包括第一吸垫和第一旋转驱动部分，第一吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋转驱动部分配置为使第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其被设置为与第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在第一方向上移动，并且包括第二吸垫和第二旋转驱动部分，第二吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋转驱动部分配置为使第二吸垫绕第二中心轴线旋转。

公开(公告)号：CN101055351A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200610108383.X

申请日：2006-08-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金成采 ,  徐济玩 ,  许瑛 ,  卞胜健 ,  金钉鹤

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明涉及包括LCD的显示器件的校准装置及其方法，其目的在于利用能在显示器件的制造工艺中具有短路棒的画质检测工艺的短路棒结构上实现的简单重复的图案来进行校准。为此，本发明所提供的显示器件的图像校准方法，包含步骤：向检查用显示器件供应校准图案；采集所供应的校准图案的图像而进行校准。