公开(公告)号：CN102237373B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201110125831.8

申请日：2011-05-09

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 柳慧英 ,  李进元 ,  李禹根 ,  卞喜准 ,  朱迅

IPC: H01L27/12 ,  H01L27/32 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/786 ,  H01L21/77 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/3272 ,  H01L51/5253 ,  H01L2227/323

Abstract: 本发明提供了一种面板、一种形成面板的方法、一种薄膜晶体管和一种显示面板。一种包括薄膜晶体管的面板包括：基底；光阻挡层，位于所述基底上；第一保护膜，位于所述光阻挡层上；第一电极和第二电极，位于所述第一保护膜上；氧化物半导体层，位于所述第一保护膜的在所述第一电极和所述第二电极之间暴露的部分上；绝缘层；第三电极，与所述氧化物半导体层叠置，且位于所述绝缘层上；第四电极，位于所述绝缘层上。所述光阻挡层包括第一侧壁，所述第一保护膜包括第二侧壁。所述第一侧壁和所述第二侧壁沿基本相同的线设置。

公开(公告)号：CN104779254A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201410850991.2

申请日：2014-12-31

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 朱迅 ,  朴在佑 ,  宋栽沅 ,  李金熙 ,  崔畯焕

IPC: H01L27/12 ,  H01L29/786 ,  H01L21/77

CPC classification number: H01L27/124 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/133514 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/133519 ,  G02F2201/121 ,  G02F2201/123 ,  H01L21/443 ,  H01L21/76852 ,  H01L23/53238 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/1259 ,  H01L27/127 ,  H01L27/1288 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/458 ,  H01L29/66765 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/7869 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管阵列面板及其制造方法。栅极电极设置在基板上。半导体层设置在栅极电极上。栅极绝缘层设置在栅极电极和半导体层之间。源极电极设置在半导体层的第一侧，并具有第一侧表面。漏极电极设置在半导体层的第二侧，并具有第二侧表面。第一和第二侧表面限定重叠栅极电极的间隔。金属硅化物层设置在第一和第二侧表面上。钝化层设置在金属硅化物层、源极电极和漏极电极上。钝化层不与第一和第二侧表面接触。