经微结构增强吸收的光敏器件

    公开(公告)号:CN107078145B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201580056778.7

    申请日:2015-11-17

    Inventor: 王士原 王士平

    Abstract: 描述了用于使用微结构来增强半导体中的光子吸收的技术。微结构诸如孔有效地增加了光子吸收。使用微结构对硅光电二极管和硅雪崩光电二极管进行吸收增强可以在波长为850nm的光子处在量子效率约为90%以上的情况下产生超过10Gb/s的带宽。微结构的厚度尺寸使其能够与CMOS、BiCMOS和其他电子器件方便地集成在同一Si芯片上,从而实现封装优点并且降低电容,进而实现较高速度。

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