窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116097532B

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202080103980.1

    申请日:2020-09-08

    Abstract: 窄带化模块具有:壳体;棱镜,其被配置于壳体的内部空间,光透过棱镜;载置部,其被配置于内部空间,载置有棱镜;固定单元,其被配置于内部空间,将棱镜固定于载置部;以及遮光部件。遮光部件被配置于内部空间,对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

    窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116097532A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202080103980.1

    申请日:2020-09-08

    Abstract: 窄带化模块具有:壳体;棱镜,其被配置于壳体的内部空间,光透过棱镜;载置部,其被配置于内部空间,载置有棱镜;固定单元,其被配置于内部空间,将棱镜固定于载置部;以及遮光部件。遮光部件被配置于内部空间,对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

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