公开(公告)号：CN1615542A

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN03802143.9

申请日：2003-01-10

Applicant: 日本电气株式会社 ,  日本EM株式会社

Inventor： 栌山一郎 ,  久保雅洋 ,  北城荣 ,  二上和彦 ,  石塚新一 ,  南光进 ,  安间仁志 ,  山田敏司 ,  片平明夫

IPC: H01L21/60 ,  H05K3/34 ,  B23K3/06

CPC classification number: H01L24/742 ,  B23K3/0607 ,  B23K3/0623 ,  B23K2101/42 ,  H01L24/11 ,  H01L2224/02123 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/11334 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3025 ,  H05K3/3478 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种使用液体进行微球分布的方法、微球分布设备和半导体器件，该方法包括的步骤有：将通过大量的焊盘放置有孔的半导体器件(2)以可变的倾角放置在装载台(3)上，使微球与固定在固定容器(6)中的导电液体一起流入到半导体器件(2)以便将焊盘上的微球可存储地放入半导体器件(2)的孔中，通过接收箱来接收和积累非存储的微球和导电液体，以及通过泵(11)将包括所积累的微球在内的导电液体运输到固定容器(6)。

公开(公告)号：CN1057831C

公开(公告)日：2000-10-25

申请号：CN95108571.9

申请日：1995-05-31

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/14 ,  G01B11/26 ,  G01D13/02

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B11/024 ,  G01D5/34715

Abstract: 一种度盘，其具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将该度盘和准备测量尺寸的物体固定使之没有任何相对运动。图象传感器单元选择性地和连续地检测物体的预定部位和与物体的预定部分相对应的度盘标记，图象传感器单元根据对物体和度盘检测结果产生输出信号。对输出信号进行处理并计算物体的尺寸。

公开(公告)号：CN1150242A

公开(公告)日：1997-05-21

申请号：CN95119638.3

申请日：1995-11-29

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/00 ,  G01B21/00

CPC classification number: G01B11/02

Abstract: 一种度盘，具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将度盘和待测量尺寸的物体固定使之无相对运动。图象传感器单元选择地和连续地检测物体的预定部位和与其相对应的度盘标记，图象传感单元按对物体和度盘的检测结果产生输出信号，对信号处理并计算物体尺寸。一种测量物体尺寸的装置，可消除视差，从而满意地改善了测量精度。在该装置中，物体和标记配置成使物体与一读取单元之间的光学距离等于标记与该读取单元之间的光学距离。

公开(公告)号：CN1123909A

公开(公告)日：1996-06-05

申请号：CN95108571.9

申请日：1995-05-31

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/02 ,  G01D13/00

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B11/024 ,  G01D5/34715

Abstract: 一种度盘，其具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将该度盘和准备测量尺寸的物体固定使之没有任何相对运动。图像传感器单元选择性地和连续地检测物体的预定部位和与物体的预定部分相对应的度盘标记，图像传感器单元根据对物体和度盘检测结果产生输出信号。对输出信号进行处理并计算物体的尺寸。

公开(公告)号：CN100341126C

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN03802143.9

申请日：2003-01-10

Applicant: 日本电气株式会社 ,  日本EM株式会社

Inventor： 栌山一郎 ,  久保雅洋 ,  北城荣 ,  二上和彦 ,  石塚新一 ,  南光进 ,  安间仁志 ,  山田敏司 ,  片平明夫

IPC: H01L21/60 ,  H05K3/34 ,  B23K3/06

CPC classification number: H01L24/742 ,  B23K3/0607 ,  B23K3/0623 ,  B23K2101/42 ,  H01L24/11 ,  H01L2224/02123 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/11334 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3025 ,  H05K3/3478 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种使用液体进行微球分布的方法、微球分布设备和半导体器件，该方法包括的步骤有：将通过大量的焊盘放置有孔的半导体器件(2)以可变的倾角放置在装载台(3)上，使微球与固定在固定容器(6)中的导电液体一起流入到半导体器件(2)以便将焊盘上的微球可存储地放入半导体器件(2)的孔中，通过接收箱来接收和积累非存储的微球和导电液体，以及通过泵(11)将包括所积累的微球在内的导电液体运输到固定容器(6)。

公开(公告)号：CN1069402C

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN95119638.3

申请日：1995-11-29

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/02

Abstract: 一种度盘，具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将度盘和待测量尺寸的物体固定使之无相对运动。图象传感器单元选择地和连续地检测物体的预定部位和与其相对应的度盘标记，图象传感单元按对物体和度盘的检测结果产生输出信号。对信号处理并计算物体尺寸。一种测量物体尺寸的装置，可消除视差，从而满意地改善了测量精度。在该装置中，物体和标记配置成使物体与一读取单元之间的光学距离等于标记与该读取单元之间的光学距离。