公开(公告)号：CN1069402C

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN95119638.3

申请日：1995-11-29

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/02

Abstract: 一种度盘，具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将度盘和待测量尺寸的物体固定使之无相对运动。图象传感器单元选择地和连续地检测物体的预定部位和与其相对应的度盘标记，图象传感单元按对物体和度盘的检测结果产生输出信号。对信号处理并计算物体尺寸。一种测量物体尺寸的装置，可消除视差，从而满意地改善了测量精度。在该装置中，物体和标记配置成使物体与一读取单元之间的光学距离等于标记与该读取单元之间的光学距离。

公开(公告)号：CN1057831C

公开(公告)日：2000-10-25

申请号：CN95108571.9

申请日：1995-05-31

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/14 ,  G01B11/26 ,  G01D13/02

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B11/024 ,  G01D5/34715

Abstract: 一种度盘，其具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将该度盘和准备测量尺寸的物体固定使之没有任何相对运动。图象传感器单元选择性地和连续地检测物体的预定部位和与物体的预定部分相对应的度盘标记，图象传感器单元根据对物体和度盘检测结果产生输出信号。对输出信号进行处理并计算物体的尺寸。

公开(公告)号：CN1150242A

公开(公告)日：1997-05-21

申请号：CN95119638.3

申请日：1995-11-29

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/00 ,  G01B21/00

CPC classification number: G01B11/02

Abstract: 一种度盘，具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将度盘和待测量尺寸的物体固定使之无相对运动。图象传感器单元选择地和连续地检测物体的预定部位和与其相对应的度盘标记，图象传感单元按对物体和度盘的检测结果产生输出信号，对信号处理并计算物体尺寸。一种测量物体尺寸的装置，可消除视差，从而满意地改善了测量精度。在该装置中，物体和标记配置成使物体与一读取单元之间的光学距离等于标记与该读取单元之间的光学距离。

公开(公告)号：CN1123909A

公开(公告)日：1996-06-05

申请号：CN95108571.9

申请日：1995-05-31

Applicant: 日本EM株式会社

Inventor： 星山浩树

IPC: G01B11/02 ,  G01D13/00

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B11/024 ,  G01D5/34715

Abstract: 一种度盘，其具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将该度盘和准备测量尺寸的物体固定使之没有任何相对运动。图像传感器单元选择性地和连续地检测物体的预定部位和与物体的预定部分相对应的度盘标记，图像传感器单元根据对物体和度盘检测结果产生输出信号。对输出信号进行处理并计算物体的尺寸。