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公开(公告)号：CN119895273A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202280100288.2
申请日：2022-09-21
Applicant: 日本电子材料株式会社
Inventor： 福岛则之
IPC: G01R1/067
Abstract: 探针卡用探针(20)在分别与垂直于探针(20)的压曲方向(X)的两个面垂直的两个侧面(20S)中的至少一方的侧面(20S)上包括：变形区域(8)，其是以在探针(20)的长度方向(Z)上隔开间隔的多个为一列并隔开间隔地包括有两列的、相对于侧面(20S)的凹陷；以及锯齿形状的骨架区域(9)，其位于两列的多个变形区域(8)之间，骨架区域(9)的长度比探针(20)的长度方向(Z)的长度长。
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公开(公告)号：CN118871794A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202280093600.X
申请日：2022-03-30
Applicant: 日本电子材料株式会社
Inventor： 森亲臣
Abstract: 本发明的探针由第1金属部(N)和板状的第2金属部(K)构成，在第1金属部(K)的长边方向(X)的一端侧，第2金属部(K)在预定的范围内沿长边方向(X)嵌入，并具有从第1金属部(N)向长边方向(X)突出而与半导体器件的电极接触的接触部(20c)，垂直于接触部(20c)的长边方向(X)的剖面为圆形，在长边方向(X)上与接触部(20c)相反的一侧的第2金属部(K)的端部的、垂直于长边方向(X)的剖面为矩形。
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公开(公告)号：CN118284812A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202280076993.3
申请日：2022-03-16
Applicant: 日本电子材料株式会社
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明的目的在于使探针相对于两个以上的引导板的插通容易化。具备：探针主体(600)，收纳于由分开配置的第一引导板(301)以及第二引导板(302)构成的探针卡(1)用的引导单元(30)，由第一引导板(301)的第一引导孔(311)以及第二引导板(302)的第二引导孔(312)支承；以及导杆(610)，构成为一端与探针主体(600)连结的大致直线形状，比探针主体(600)先插通第一引导孔(301)，进而在通过了第二引导孔(302)后能够从探针主体(600)切断。
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公开(公告)号：CN116547543A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180077519.8
申请日：2021-03-15
Applicant: 日本电子材料株式会社
IPC: G01R31/26
Abstract: 目的在于，廉价地提供高温检查用的探针卡。具备：支承大量探针(15)的布线基板(130)；形成于布线基板(130)的发热覆膜(3)；和对发热覆膜(3)供给电流的一对电极端子(4)，发热覆膜(3)通过涂布在粘合剂中分散了微细碳粒子的发热涂层材料而形成于布线基板(130)的表面上。
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公开(公告)号：CN115989417A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202080103446.0
申请日：2020-11-17
Applicant: 日本电子材料株式会社
IPC: G01R1/073
Abstract: 目的在于提供一种能够防止薄膜电阻体(30)的劣化的探针卡用多层布线基板。探针卡用多层布线基板(ST基板)(15)设置在探针卡(100)的外部端子(120)与探针(17)间的布线路径上，且在上表面形成有基底绝缘膜(41)，具备：薄膜电阻体(30)，包含形成在基底绝缘膜(41)上的薄膜且连接有一对连接电极(33)；埋设热沉(31)，隔着基底绝缘膜(41)与薄膜电阻体(30)对置地埋设，且包含热传导率比基底绝缘膜(41)高的材料；以及覆盖绝缘膜(43)，形成在与薄膜电阻体(30)对应的区域，覆盖薄膜电阻体(30)，埋设热沉(31)在覆盖绝缘膜(43)的形成区域外具有未被基底绝缘膜(41)被覆的散热部(50)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104062476B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201410099102.3
申请日：2014-03-17
Applicant: 日本电子材料株式会社 , 新光电气工业株式会社
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/07357
Abstract: 本发明涉及探针卡用导板。提供了一种通过增大贯通孔的缘部处的机械强度，能够应对贯通孔的微型化和节距减小的探针卡用导板。探针卡用导板（100）包括具有表面（110a、110b）和贯通孔（111）的硅基板（110）、贯通孔的缘部（113a、113b）以及形成在缘部上的曲面部（122a、122b）。贯通孔被构造为引导探针（200）并且包括内壁面（112）。缘部由硅基板的表面和贯通孔的内壁面构成。曲面部由二氧化硅膜形成。
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公开(公告)号：CN104813458B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201380061159.8
申请日：2013-11-12
Applicant: 日本电子材料株式会社
CPC classification number: G01R1/04 , G01R1/0408 , G01R1/07314 , G01R31/2893
Abstract: 本发明提供一种探针卡盒，其能够容易地进行探针卡的操作处理且还能够应对小径化(小型化)了的探针卡。一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能够将上述探针卡载置在规定位置；第2盒部件，其能够与上述第1盒部件的上侧嵌合，具有用于固定上述探针卡的探针卡固定机构；和盒固定机构，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能够在将上述探针卡收纳在上述探针卡盒的内部、且将上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的状态下进行输送，并且，能够在将上述探针卡固定在上述第2盒部件的状态下，将上述探针卡仅与上述第2盒部件一起输送。
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公开(公告)号：CN107422197A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710242941.X
申请日：2013-07-25
Applicant: 日本电子材料株式会社
Abstract: 本发明涉及用于探针卡的导板和制造用于探针卡的导板的方法。所述导板设置有以紧密节距间隔布置的微细通孔并能够获得改进的强度。用于探针防护件的导板(100)设置有：金属基底(110)；第一绝缘层(120)；以及金属层(130)。金属基底(110)包括：多个通孔(111)，探针能够通过该通孔插入；和通孔(111)的内壁面。第一绝缘层(120)具有筒状，并且设置于金属基底(110)中的通孔(111)的内壁面。金属层(130)设置在第一绝缘层(120)上。
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公开(公告)号：CN104508499B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201380040382.4
申请日：2013-07-25
Applicant: 日本电子材料株式会社
CPC classification number: G01R1/07371 , C25D1/003 , C25D5/02 , C25D5/48 , G01R1/07357 , G01R1/18 , G01R3/00 , G01R31/2889
Abstract: 【目的】本发明的目的是提供一种用于探针防护件的导板，其设置有以紧密节距间隔布置的微细通孔并能够获得改进的强度。【构造】用于探针防护件的导板(100)设置有：金属基底(110)；第一绝缘层(120)；以及金属层(130)。金属基底(110)包括：多个通孔(111)，探针能够通过该通孔插入；和通孔(111)的内壁面。第一绝缘层(120)具有筒状，并且设置于金属基底(110)中的通孔(111)的内壁面。金属层(130)设置在第一绝缘层(120)上。
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公开(公告)号：CN104508499A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040382.4
申请日：2013-07-25
Applicant: 日本电子材料株式会社
CPC classification number: G01R1/07371 , C25D1/003 , C25D5/02 , C25D5/48 , G01R1/07357 , G01R1/18 , G01R3/00 , G01R31/2889
Abstract: 【目的】本发明的目的是提供一种用于探针防护件的导板，其设置有以紧密节距间隔布置的微细通孔并能够获得改进的强度。【构造】用于探针防护件的导板(100)设置有：金属基底(110)；第一绝缘层(120)；以及金属层(130)。金属基底(110)包括：多个通孔(111)，探针能够通过该通孔插入；和通孔(111)的内壁面。第一绝缘层(120)具有筒状，并且设置于金属基底(110)中的通孔(111)的内壁面。金属层(130)设置在第一绝缘层(120)上。
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