公开(公告)号：CN110880923A

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201911255614.3

申请日：2019-12-10

Applicant: 武汉大学

Inventor： 孙成亮 ,  高超 ,  蔡耀 ,  邹杨 ,  谢英 ,  刘炎 ,  徐沁文 ,  刘婕妤 ,  周杰

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/15 ,  H03H9/17 ,  H03H9/13

Abstract: 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种螺旋状的声波谐振器，包括衬底，衬底中设有空腔，空腔中设置有支撑柱，支撑柱上支撑着悬浮于空腔上方的声波谐振器；声波谐振器包括均为相同螺旋形状的种子层、下电极层、压电薄膜层和上电极层。该谐振器能够很好的提高谐振器的机电耦合系数。

公开(公告)号：CN109119531A

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201810917285.3

申请日：2018-08-13

Applicant: 武汉大学

Inventor： 高超 ,  孙成亮 ,  邹杨 ,  周杰 ,  刘炎 ,  刘婕妤 ,  胡博豪

IPC: H01L41/332

Abstract: 本发明提供了一种柔性传感器的制造方法，该方法能够促使刻蚀顺利进行，并显著提高柔性传感器剥落的成功率。本发明涉及的柔性传感器的制造方法，特征在于，包括以下步骤：步骤1.在硅衬底上涂光刻胶，进行光刻，对硅衬底进行刻蚀，产生形成有多个支撑柱的凸台；步骤2.在凸台上沉积二氧化硅薄膜层；步骤3.依次沉积或覆盖制造传感器的各层材料；步骤4.通入二氧化硅刻蚀剂对二氧化硅薄膜层进行刻蚀；步骤5.将传感器剥落。

公开(公告)号：CN307335017S

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202230087049.0

申请日：2022-02-23

Applicant: 武汉市森海维科技有限责任公司 ,  武汉大学深圳研究院

Designer： 刘炎 ,  魏美容 ,  王泽 ,  王雨

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：耦合头拆装工具。
2.本外观设计产品的用途：用于水导激光加工设备耦合头的拆装。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。
5.指定设计1为基本设计。

公开(公告)号：CN307290451S

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202230087086.1

申请日：2022-02-23

Applicant: 武汉市森海维科技有限责任公司 ,  武汉大学深圳研究院

Designer： 刘炎 ,  魏美容 ,  王泽 ,  王雨

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：耦合头拆装工具。
2.本外观设计产品的用途：用于水导激光加工设备耦合头的拆装。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。
5.指定设计1为基本设计。