-
公开(公告)号：CN101714591B
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN200910219830.2
申请日：2009-11-10
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明一种硅光电二极管的制作方法属于半导体器件制作领域，尤其涉及一种硅光电二极管的制作方法。本发明采用绝缘体上硅晶片作衬底，绝缘体上硅晶片包括支撑硅片、二氧化硅埋层和器件层。采用干法刻蚀工艺在器件层上先加工一个闭环的隔离沟槽；在绝缘体上硅晶片的器件层上表面上生长一定厚度的二氧化硅层，透过二氧化硅层在器件层进行离子注入掺杂，得到P型掺杂区和N型掺杂区。采用溅射的方法在器件层上表面上先后生长一定厚度的钛金属层和铝金属层，经光刻形成正电极和负电极，最后得到硅光电二极管结构。本发明提供的制作方法工艺简单，可靠性高，有良好的重复性和稳定性，可与其它器件进行集成。
-
公开(公告)号：CN102249181A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110075587.9
申请日：2011-03-28
Applicant: 大连理工大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种SU-8胶微力传感器的制作方法，属于微机电系统技术领域中的微传感器。其特征包括以下步骤：采用硅作为衬底，Omnicoat胶为粘结层和牺牲层，第一次曝光显影制作出SU-8胶结构体，然后进行溅射，第二次曝光显影制作出正胶掩模，来腐蚀金属层，最后再进行释放。制作出来的传感器通过两个电极与外围电路连接成为惠斯顿电桥，将电阻变化量转换为电压变化量，以此来测量作用力的大小。本发明选择的光刻胶为SU-8胶，此材料的弹性模量小，使得其性能和半导体硅材料的微力传感器相当，而且具有良好的生物兼容性，工艺步骤简单，加工成本较低，加工周期短，可批量生产。
-
公开(公告)号：CN102185521A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110112353.7
申请日：2011-05-03
Applicant: 大连理工大学
CPC classification number: Y02E10/38
Abstract: 本发明公开了一种利用海浪发电的装置，属于海洋能源结合利用技术领域。该海洋发电装置中，下进给部件的中心轴下端有外螺纹，在外螺纹上依次安装有阻尼板上螺母、阻尼板以及阻尼板下螺母。发电装置中有左右对称、结构完全相同的两组压板部件，进给传感部件为对称结构。装置中还有结构完全相同、对称分布的四组螺纹轴组件、两组压电发电机组件；本发明结构简单，成本低廉，能量转换效率高，采用压电换能结构，通过永磁力间接驱动压电发电机发电，不需增速机构，适用于复杂无规则的波浪环境，能够应用于浅海与远海区域发电。
-
公开(公告)号：CN101837945A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010133572.9
申请日：2010-03-22
Applicant: 大连理工大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明一种电热微夹钳的封装装置属于微机电系统的封装领域，特别涉及电热微夹钳封装装置。封装装置具有基板和盖板，两套螺钉及螺母和金手指插槽组成。基板是一块双面布线印刷电路板，其上端面中间开有基板矩形槽；盖板也是一块双面布线印刷电路板，其上端面中间开有盖板矩形槽；基板正面的左、右方形焊盘上安装有电热微夹钳；电热微夹钳安装在盖板和基板之间；基板、盖板通过螺钉装配在一起，用螺母锁紧；装有微夹钳的基板和盖板的基板、盖板下部矩形底面插入金手指插槽中后，通过金手指插槽与外部电源连接。本发明能简单快速地对电热微夹钳进行夹紧并固定，方便供电，电热微夹钳电极与外部电源连接容易，可靠、实用。
-
公开(公告)号：CN100523820C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200710157926.1
申请日：2007-11-01
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明模仿了沙漠蚂蚁依靠天空偏振光感知运动方向的机理，提出了一种面向导航应用的偏振敏感测定运动方向的方法和传感器装置，属于导航测向传感器设计领域。偏振导航传感器主要由偏振光探测、光电转换、信号放大滤波调理、方向光强度辨识、模拟电压信号采集处理、方位角度解算输出等主要部分构成。该发明为光机电一体化设计，通过选择特定带通滤光片以及高精度对数运算放大电路解决了天空偏振光波段过宽以及不同时刻偏振光强度变化范围过大问题，使传感器的角度输出与光强度变化无关；同时采用独特的角度归一化解算方法，消除了天空偏振光偏振程度变化对于传感器测角精度的影响。该发明具有结构简单、性能可靠、测角精度高的优点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101430201A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810229778.4
申请日：2008-12-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01C17/34
Abstract: 本发明公开了一种基于仿生偏振原理的指南针，属于导航测向传感器设计领域。其特征是该指南针包括偏振光接收模块、光电转换及调理模块、信号采集模块、实时时钟模块、信号处理模块、通讯接口及显示模块。偏振光接收模块用于接收自然界的偏振光信息，光电转换及调理模块将接收到的偏振光信号转换为模拟电压信号；信号处理模块控制信号采集模块采集光电转换及调理模块输出的模拟电压信号，再结合实时时钟模块提供的时间信息计算出方位信息，并将该方位信息通过通讯接口进行输出，同时会在LCD上进行显示。本发明的有益效果是结构简单、性能可靠、检测精度高。
-
公开(公告)号：CN101269489A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810011180.8
申请日：2008-04-22
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种柔性结构电热驱动镍微夹钳，属于微机电系统技术领域中的微执行器类。其特征是驱动部分和位移放大部分通过驱动位移杆连接为一个整体结构，驱动部分为V形梁阵列，位移放大部分为集中式柔性结构，整个钳体为十杆机构，通过柔性铰链铰接。其材料为金属镍，采用UV－LIGA工艺制成。本发明的效果和益处是该柔性结构电热驱动镍微夹钳结构类型独特新颖，放大倍数高，输出位移大，响应速度快，控制简单，便于集成，适用于对微小零件进行微操作或微装配等。
-
公开(公告)号：CN101232258A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810010083.7
申请日：2008-01-11
Applicant: 大连理工大学
IPC: H02N2/00 , H02N2/04 , H01L41/09 , H01L41/053
Abstract: 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器，属于精密机械与仪器技术领域，涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中，固定平板与两翼的形状成“∏”形，压电叠堆腔体的两侧通过直线型弹性梁与两翼柔性连接，便于压电叠堆安装与引线，固定平板上加工出压电叠堆安装孔，安装孔与压电叠堆腔体的中空腔相通，在连通腔内壁两侧加工出导线槽；压电叠堆腔体在远离固定平板的一端开有内螺纹孔。适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
-
公开(公告)号：CN100398430C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200410050254.0
申请日：2004-08-12
Applicant: 大连理工大学
IPC: B81B5/00
Abstract: 本发明为一种柔性电热驱动微夾钳，属于微机电系统领域中的微执行器类。柔性电热驱动微夾钳由驱动部分和钳体部分组成，驱动部分为V形梁阵列，微夹钳是利用高阻值的多晶硅材料进行体硅加工形成的一整体柔性结构，无需任何装配，整个钳体结构由四对摇杆，六对柔性铰链，驱动位移杆，驱动固定杆组成。四对摇杆的外轮廓形状曲线可为圆弧曲线，也可为矩形曲线、菱形曲线等多种形状，或为不同曲线形状的任意组合；六对柔性铰链都是杆状结构。这种微夾钳控制简单、易行，制作简单，且其位移放大倍数较大，输出效率高，精度高。可应用于微机电系统进行微操作、微装配等。
-
公开(公告)号：CN101101797A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710012230.X
申请日：2007-07-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: G21H1/06
Abstract: 本发明一种同位素电池制作方法及结构属于微机械电子系统中的微能源领域。同位素电池制作方法是首先采用P型硅片为衬底，作为P型区；然后在P型区的上表面掺杂磷，形成N型区和PN结4；在P型区的下表面掺杂硼，形成P+区；在P型区的上表面制作电极的区域进行二次掺杂磷，形成重掺杂N区；在P型区的上下表面溅射金属铝，形成电池的上电极和下电极；然后在N型区的上表面生成二氧化硅保护层；同位素电池结构由上电极、二氧化硅保护层、重掺杂N区、N型区、PN结、P型区、P+区、下电极组成。本发明提高了电池的输出电压；能够减小电离少数载流子的表面复合，改善扩散层的整体性能，提高同位素微电池核电转换效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
123
records
(took 0.036 seconds)
