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公开(公告)号:CN101216390A
公开(公告)日:2008-07-09
申请号:CN200810010082.2
申请日:2008-01-11
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01N3/00
Abstract: 一种微构件力学性能片外拉伸测试实验台,属于微机电系统中的微构件力学性能测试领域。它由压电驱动单元、微力检测单元、位移检测单元、试样安装调整单元、图像监控采集单元及底座组成。压电驱动单元由内装压电陶瓷致动器的封装结构及支架组成,微力检测单元由力传感器与力传感器支撑板组成,位移检测单元由位移传感器与位移传感器支架组成,试样安装调整单元由五维微定位台、动载物台与静载物台组成,图像监控采集单元由CCD摄像机、显微镜与显微镜支架组成。该微构件力学性能片外拉伸测试实验台克服了现有拉伸测试实验装置的存在缺点,具有所需费用少,结构简单,精度较高,可平滑升级,能满足微构件材料力学性能片外拉伸测试要求。
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公开(公告)号:CN101232258B
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200810010083.7
申请日:2008-01-11
Applicant: 大连理工大学
IPC: H02N2/00 , H02N2/04 , H01L41/09 , H01L41/053
Abstract: 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器,属于精密机械与仪器技术领域,涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中,固定平板与两翼的形状成“∏”形,压电叠堆腔体的两侧通过直线型弹性梁与两翼柔性连接,便于压电叠堆安装与引线,固定平板上加工出压电叠堆安装孔,安装孔与压电叠堆腔体的中空腔相通,在连通腔内壁两侧加工出导线槽;压电叠堆腔体在远离固定平板的一端开有内螺纹孔。适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
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公开(公告)号:CN101232258A
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200810010083.7
申请日:2008-01-11
Applicant: 大连理工大学
IPC: H02N2/00 , H02N2/04 , H01L41/09 , H01L41/053
Abstract: 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器,属于精密机械与仪器技术领域,涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中,固定平板与两翼的形状成“∏”形,压电叠堆腔体的两侧通过直线型弹性梁与两翼柔性连接,便于压电叠堆安装与引线,固定平板上加工出压电叠堆安装孔,安装孔与压电叠堆腔体的中空腔相通,在连通腔内壁两侧加工出导线槽;压电叠堆腔体在远离固定平板的一端开有内螺纹孔。适用于高精度纳米驱动、高频谐振驱动和高精密定位系统中。
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