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公开(公告)号：CN107450173A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710528486.X
申请日：2017-07-01
Applicant: 南京理工大学
CPC classification number: G02B21/02 , G01B11/2441 , G02B13/00 , G02B21/0004
Abstract: 本发明公开了一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统。该系统包括沿同一光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、参考板和分光板；照明光依次通过第一～第八透镜和参考板，在分光板处被分为两束，一束入射到参考平板表面返回，另一束入射到待测件表面返回，两束发射光在分光板处重合后发生干涉，根据产生的干涉条纹分析待测件的微观特性。该系统放大倍率为0.5X，数值孔径为0.015，入瞳直径为12毫米，焦距为400毫米，齐焦距离为280毫米，视场可达48毫米。本发明光学系统结构简单、成像质量好，适用于相干扫描干涉法，可用于测量粗糙表面的三维形貌。
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公开(公告)号：CN106370129B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201611010648.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，属于显微物镜设计领域。本发明的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、分光棱镜和垂直于光轴设置的参考平板。本发明的干涉显微物镜光学系统的放大倍率为5X，数值孔径为0.13，工作距离达到15毫米。本发明5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统结构简单，工作距离长，成像质量好，适用于多种干涉显微镜，可用于测量表面微观三维轮廓。
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公开(公告)号：CN104655053B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201310609016.8
申请日：2013-11-25
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种基于针孔式点衍射干涉仪的球面镜曲率半径测量装置及方法。本发明通过在针孔式点衍射干涉仪装置中，先后于干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来实现两次定量的离焦。当测试光路中不放置平行平板时，通过移相测量得到波面数据W0，分别放置两个不同厚度的平行平板在测试光路中，通过移相测量得出两个不同的波面W1和波面W2，通过W1和W0的离焦系数之差、W2和W0的离焦系数之差和高斯成像公式，推导出球面反射镜曲率半径的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对球面镜表面的损坏，为大数值孔径球面镜曲率半径的无损伤测量提供了可行的方法，同时适用于大数值孔径球面镜的面形检测。
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公开(公告)号：CN106370129A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201611010648.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，属于显微物镜设计领域。本发明的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、分光棱镜和垂直于光轴设置的参考平板。本发明的干涉显微物镜光学系统的放大倍率为5X，数值孔径为0.13，工作距离达到15毫米。本发明5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统结构简单，工作距离长，成像质量好，适用于多种干涉显微镜，可用于测量表面微观三维轮廓。
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公开(公告)号：CN106092974A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610375987.4
申请日：2016-05-31
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/59
CPC classification number: G01N21/59
Abstract: 本发明公开了一种特种截止滤光片透射率曲线高精度测试装置及方法，包括共光轴依次设置的宽光谱激光器、准直透镜、特种截止滤光片、聚焦透镜和光谱仪，所有器件相对于基底同轴等高，即相对于光学平台或者仪器底座同轴等高。宽光谱激光器发出的激光束，先经准直透镜准直，再由聚焦透镜聚焦于焦点处，光谱仪测量激光器的光谱R1(λ)，再将特种截止滤光片置于转台上，插入光路中，介于准直透镜及聚焦透镜之间，转动特种截止滤光片，改变激光入射角，测量不同入射角度下的激光光谱曲线R2(λ)。本发明精度更高，能达到0.02nm，且实验装置简单，成本较低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104730085A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310706251.7
申请日：2013-12-19
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置，共光轴依次布置光源、孔径光阑、正透镜、半透半反分光镜、双焦波带片、待测平面掩膜，光线经孔径光阑形成点光源，再经正透镜形成平行光，平行光穿过半透半反分光镜，入射到双焦波带片上，0级衍射光束满足折射原理，+1级衍射光线在双焦波带片相位函数的调控下实现汇聚，携带待测平面掩膜表面面型相位信息的光反射形成返回光路。本发明中采用参考光与测试光共光路的双焦波带片显微干涉系统，双焦波带片实现了无焦和有焦距共存的衍射器件，相比于多片的透射透镜组系统，减少了透镜组透射的数量，而且双焦波带片干涉显微系统实现了振幅型缺陷和位相型缺陷的同步检测的功能。
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公开(公告)号：CN102607454A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110044698.3
申请日：2011-02-24
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种光学自由曲面干涉检测装置，采用点光源阵列产生多视场倾斜波面，照明被测自由曲面，位于光轴上的点光源始终点亮作为参考光，获得的多视场干涉图按移相干涉技术复原得到子区域波面数据；用标准球面标定CCD像素与多视场干涉图之间的位置关系，测量自由曲面时，多视场干涉图位置发生偏移，由偏移量得到波面倾斜信息；根据倾斜信息与多视场子区域波面数据重构被测面面形信息。根据被测面特征产生可控点源阵列点亮方案，本发明的装置可覆盖包括较多测试对象（凸凹非球面、自由曲面）。本发明克服了现有自由曲面检测方法单一性和高成本的缺点，克服了现有检测方法中由非共光路带来的误差大的缺陷以及子孔径方法对位移精度要求高的缺陷。
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公开(公告)号：CN119779160A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411927142.2
申请日：2024-12-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于逐点计算的小型化激光干涉仪实时测距装置及方法，其装置包括光源、干涉光路、光电探测器、高速采集卡。干涉光路采用半英寸小尺寸光学元件，探测端采用毫米级光电感应面紧凑密排、整体装置体积小重量轻。首先，干涉信号由光电探测器接收；随后转化成电信号，对高速采集卡获取的一系列干涉信号进行逐点差分处理，求解得到各采样点相位；通过两个采样点的相位差解调获得相邻采样点的位移差；最终累加实时输出各采样点的位移，实现纳米级精度位移测量。为解决逐点计算导致的计算时间过长的问题，采用采集与计算并行处理，同时仅靠加减法等简单运算，计算过程简洁高效。本装置仪结构紧凑，位移还原方法高速精准。
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公开(公告)号：CN114812889B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202210485232.5
申请日：2022-05-06
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种大口径光学应力检测装置及其检测方法，检测光路利用线偏振激光作为输入探测光，通过会聚透镜扩束后，再经过一个分光棱镜和一个大口径准直物镜准直入射大口径待测元件，然后由标准反射镜反射，再次穿过待测元件，经准直镜会聚和分光棱镜反射后再由准直镜准直，最终用偏振相机采集光强信息，通过后端数据处理，实现大口径样品中应力的可视化；与传统检测光路相比，该光路不需要波片，无需转动或移动任何部件，就可以实现大口径应力双折射的实时检测，避免了波片和运动平台引入的误差。该方法不需要借助拼接算法，可以同时得到整面大口径样品的应力分布，而且易于和现有的大口径干涉光路集成。
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公开(公告)号：CN116972768B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202310812260.8
申请日：2023-07-04
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种针对米级大口径卧式平面干涉仪的绝对检验方法，属于光学检测领域，融合了两种检测手段，通过支撑机构与轻量化平面反射镜的协同工作，实现对米级卧式平面干涉仪的绝对检验。支撑机构采用一对三角块实现V型支撑方式，其工作面与轻量化平面反射镜相切，并垂直于轻量化平面反射镜的筋。同时，利用平面反射镜60°旋转对称的轻量化网格形式，保证了每次旋转测量时反射镜都处于最佳的检测状态。采用瑞奇‑康芒法补偿旋转平移绝对检验法中求解不准确的离焦项面形，实现对米级大口径卧式平面干涉仪的绝对检验。
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