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公开(公告)号：CN106482633A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510522017.8
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于π/4相移的多光束干涉相位提取方法，首先基于多光束干涉光强的分析，建立了多光束干涉光强近似分布模型；在此基础上，结合载频交叠重构理论，提出了π/4相移算法，实现了高阶谐波分量和移相误差分量与相位分量在频谱域的分离，频谱滤波后提取得到待测相位分布，同时解决了斐索干涉仪测量反射系数高于参考镜反射系数的光学元件时多光束干涉和随机相移所引入误差的问题。
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公开(公告)号：CN106092514A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201510209977.9
申请日：2015-04-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法，通过在双波长斐索干涉仪装置中，先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图，通过第一步移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW11(x，y)、ΔW21(x，y)；采集参考光波与透过待测平面镜并被待测平面镜后表面反射的光波的干涉图，通过移相测量得到波长λ1和λ2对应的波前像差数据ΔW12(x，y)、ΔW22(x，y)。通过两步测量得到的对应波长波前像差数据求差值，获得待测平面镜光学非均匀性。本发明不需要引入标准反射镜，完全消除了标准反射镜的面形对测量结果的影响，测量步骤简单，弥补了传统绝对测量方法步骤繁琐、易受空气扰动的缺点。
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公开(公告)号：CN104165758A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410439298.6
申请日：2014-08-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法。本发明通过在斐索涉仪装置中，先后在干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来引入物点和像点的轴向位移，实现透镜焦距的测量。首先将玻璃平板放置在猫眼位置，当测试光路中不放置平行平板时，通过移相干涉测量得到测试波前数据W1和参考波前数据W0之差W1-W0。分别将两个不同厚度的平行平板置在测试光路中，通过移相干涉测量得出两个不同的波差W2-W0和波面W3-W0。采用波前差分算法通过计算求得波差W2-W1、波差W3-W1和高斯成像公式，推导出透镜焦距的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对透镜表面的损坏，同时该发明适用于正负透镜焦距的测量。
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公开(公告)号：CN106482839A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510522812.7
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集，同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次，针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题，采用合成波长结合单波长相位处理的方式，抑制了不同波长下移相误差对合成波长相位的影响，避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差有效。由于仅需控制单个波长下的测试精度，因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。
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公开(公告)号：CN106482664A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510523660.2
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于圆载频莫尔条纹理论的合成波长相位提取方法，基于莫尔条纹理论利用双波长干涉测试装置检测非球面时，可以得到两种波长干涉条纹叠加后的圆载频莫尔条纹图，提出了一种从圆载频莫尔条纹图直接提取合成波长相位的方法。通过以合成波长的π/2为移相步进量进行移相，对圆载频莫尔条纹移相干涉图去除直流分量后平方，并采用二次极坐标变换，得到线载频莫尔条纹图，结合载频交叠重构理论，在频谱域实现对低频的合成波长分量的提取，最终提取出合成波长相位，解决了单波长检测时条纹过密无法恢复相位的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106154362A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201510208487.7
申请日：2015-04-28
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种小F数多波长标准球面参考透镜组，工作波长为632.8nm、543.5nm和532nm，采用色散低的冕牌玻璃ZK7和色散高的火石玻璃ZF6实现透镜组的消色差；采用3片式透镜设计，由双胶合正透镜、负透镜和最后一面为标准球面的正透镜构成；参考透镜组的口径、F数以及顶焦距设计理论值分别为100mm、F/3和254.7mm；参考透镜组中除最后一片镜面之外，各镜面均镀有632.8nm、543.5nm和532nm的三点增透膜；采用双胶合正透镜和负透镜组合，实现光路结构的近似无焦，降低了焦点与其末面曲率中心重合误差随镜间距变化的灵敏度，便于小 F 数标准球面透镜组的装调。
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公开(公告)号：CN106482839B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201510522812.7
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集，同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次，针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题，采用合成波长结合单波长相位处理的方式，抑制了不同波长下移相误差对合成波长相位的影响，避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差有效。由于仅需控制单个波长下的测试精度，因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。
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公开(公告)号：CN106595529B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610147404.2
申请日：2016-03-15
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明提出一种基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量方法及装置。该方法利用二阶极坐标变换将圆载频牛顿环干涉图转换为线载频干涉图，利用二阶极坐标下的线载频待测牛顿环干涉图和线载频标准牛顿环干涉图叠加形成的莫尔条纹，通过解调低通滤波后的低频莫尔条纹图，提取出待测球面与标准球面的波前差分数据，推导出了曲率半径的计算公式。基于ZEMAX软件的菲索型球面大曲率半径非零位检测系统的模型，利用有限迭代的方法校正了非零位检测中牛顿环干涉图采集时存在的回程误差。构建了菲索型球面大曲率半径非零位检测系统，完成了基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量技术的验证。
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公开(公告)号：CN106482664B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510523660.2
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于圆载频莫尔条纹理论的合成波长相位提取方法，基于莫尔条纹理论利用双波长干涉测试装置检测非球面时，可以得到两种波长干涉条纹叠加后的圆载频莫尔条纹图，提出了一种从圆载频莫尔条纹图直接提取合成波长相位的方法。通过以合成波长的π/2为移相步进量进行移相，对圆载频莫尔条纹移相干涉图去除直流分量后平方，并采用二次极坐标变换，得到线载频莫尔条纹图，结合载频交叠重构理论，在频谱域实现对低频的合成波长分量的提取，最终提取出合成波长相位，解决了单波长检测时条纹过密无法恢复相位的问题。
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公开(公告)号：CN106482633B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201510522017.8
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于π/4相移的多光束干涉相位提取方法，首先基于多光束干涉光强的分析，建立了多光束干涉光强近似分布模型；在此基础上，结合载频交叠重构理论，提出了π/4相移算法，实现了高阶谐波分量和移相误差分量与相位分量在频谱域的分离，频谱滤波后提取得到待测相位分布，同时解决了斐索干涉仪测量反射系数高于参考镜反射系数的光学元件时多光束干涉和随机相移所引入误差的问题。
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