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公开(公告)号：CN104730085A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310706251.7
申请日：2013-12-19
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置，共光轴依次布置光源、孔径光阑、正透镜、半透半反分光镜、双焦波带片、待测平面掩膜，光线经孔径光阑形成点光源，再经正透镜形成平行光，平行光穿过半透半反分光镜，入射到双焦波带片上，0级衍射光束满足折射原理，+1级衍射光线在双焦波带片相位函数的调控下实现汇聚，携带待测平面掩膜表面面型相位信息的光反射形成返回光路。本发明中采用参考光与测试光共光路的双焦波带片显微干涉系统，双焦波带片实现了无焦和有焦距共存的衍射器件，相比于多片的透射透镜组系统，减少了透镜组透射的数量，而且双焦波带片干涉显微系统实现了振幅型缺陷和位相型缺陷的同步检测的功能。
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公开(公告)号：CN108919486B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201810946493.6
申请日：2018-08-20
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种低温真空环境下光学窗口的热光学特性表征与优化方法，运用有限元法仿真低温真空环境下的大口径平行光管系统中的熔石英窗口。基于光学设计软件的自定义面型，该面型结合偶次非球面面型与梯度折射率面面型，用于表征温差、压差带来的光学窗口面形变化及材料折射率变化。使用偏置无焦透镜组对大口径平行光管系统的轴外视场波像差进行优化，加入温度变化引起的面形变化后，采用变焦设计补偿温度引起的系统波像差及焦距变化，将波像差优化至衍射极限以下，符合使用要求。本发明具有光学窗口热光学特性表征全面、利用小口径元件优化大口径元件像差、适应多种温度变化、结构简单等优点。
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公开(公告)号：CN105865371B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201610403134.7
申请日：2016-06-08
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法，包括以下步骤：读取一组白光干涉条纹图像及系统参数，所述系统参数包括中心波长、光谱宽度和扫描步长；对于待测样品表面上任一像素点，取该像素点在该组白光干涉图像中的灰度值变化序列记为待测信号，然后根据系统参数及白光干涉原理生成参考信号；确定待测信号和参考信号的相关函数；对所得相关函数进行峰值检测，得到待测信号和参考信号之间的延迟量，延迟量与扫描步长相乘得到待测信号和参考信号之间的相对高度，进而确定每一个像素点的相对高度，复原得到待测样品表面的微观轮廓。本发明具有原理简单、检测精度高、抗噪声能力强等特点。
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公开(公告)号：CN112525071B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202011357852.8
申请日：2020-11-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法，所述方法为大口径干涉仪中大口径准直透镜及TF标准平板的材料非均匀性的影响提供模拟仿真以及校正方案。首先在光学设计软件Zemax中建立扩束系统模型；采用多项式表征大口径光学材料的折射率非均匀性；采用Zemax中自定义面型实现对折射率三维分布的大口径准直透镜和标准平板的建模并模拟分析大口径材料折射率非均匀性的影响。在扩束系统准确建模的基础之上，通过优化小口径准直镜和TF标准平板前表面的面形参数来抑制大口径光学材料非均匀性的影响。本发明对大口径光学材料折射率三维分布精确建模，并通过优化小口径准直镜的参数来抑制大口径光学材料非均匀性影响，精度高且实用性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108919486A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810946493.6
申请日：2018-08-20
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种低温真空环境下光学窗口的热光学特性表征与优化方法，运用有限元法仿真低温真空环境下的大口径平行光管系统中的熔石英窗口。基于光学设计软件的自定义面型，该面型结合偶次非球面面型与梯度折射率面面型，用于表征温差、压差带来的光学窗口面形变化及材料折射率变化。使用偏置无焦透镜组对大口径平行光管系统的轴外视场波像差进行优化，加入温度变化引起的面形变化后，采用变焦设计补偿温度引起的系统波像差及焦距变化，将波像差优化至衍射极限以下，符合使用要求。本发明具有光学窗口热光学特性表征全面、利用小口径元件优化大口径元件像差、适应多种温度变化、结构简单等优点。
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公开(公告)号：CN112525071A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011357852.8
申请日：2020-11-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法，所述方法为大口径干涉仪中大口径准直透镜及TF标准平板的材料非均匀性的影响提供模拟仿真以及校正方案。首先在光学设计软件Zemax中建立扩束系统模型；采用多项式表征大口径光学材料的折射率非均匀性；采用Zemax中自定义面型实现对折射率三维分布的大口径准直透镜和标准平板的建模并模拟分析大口径材料折射率非均匀性的影响。在扩束系统准确建模的基础之上，通过优化小口径准直镜和TF标准平板前表面的面形参数来抑制大口径光学材料非均匀性的影响。本发明对大口径光学材料折射率三维分布精确建模，并通过优化小口径准直镜的参数来抑制大口径光学材料非均匀性影响，精度高且实用性好。
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公开(公告)号：CN107348940B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710506273.7
申请日：2017-06-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: A61B3/12 , A61B3/14 , A61B5/0285
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型近红外同步移相干涉的视网膜血流速度检测装置，包括近红外光源、科勒照明系统、第一分光棱镜、模型眼、注视目标、准直透镜、第二分光棱镜、成像物镜、同步移相相机和计算机。近红外光源产生近红外光束，经科勒照明系统后均匀出射，经第一分光棱镜分光后分别垂直入射待测人眼和模型眼，经待测人眼视网膜和模型眼后表面反射后两束光相干涉。同步移相相机对入射的近红外干涉光进行动态采集，并传输至计算机，利用同步移相干涉相位算法对眼底动态干涉图像进行处理，利用多普勒测速模型对处理后的数据进行分析，实现视网膜血流速度的检测。本发明提高了视网膜血流速度检测的灵敏度，提升了血管造影的准确性和实时性。
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公开(公告)号：CN107348940A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710506273.7
申请日：2017-06-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: A61B3/12 , A61B3/14 , A61B5/0285
CPC classification number: A61B3/12 , A61B3/14 , A61B5/0059 , A61B5/0261 , A61B5/0285
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型近红外同步移相干涉的视网膜血流速度检测装置，包括近红外光源、科勒照明系统、第一分光棱镜、模型眼、注视目标、准直透镜、第二分光棱镜、成像物镜、同步移相相机和计算机。近红外光源产生近红外光束，经科勒照明系统后均匀出射，经第一分光棱镜分光后分别垂直入射待测人眼和模型眼，经待测人眼视网膜和模型眼后表面反射后两束光相干涉。同步移相相机对入射的近红外干涉光进行动态采集，并传输至计算机，利用同步移相干涉相位算法对眼底动态干涉图像进行处理，利用多普勒测速模型对处理后的数据进行分析，实现视网膜血流速度的检测。本发明提高了视网膜血流速度检测的灵敏度，提升了血管造影的准确性和实时性。
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公开(公告)号：CN105865371A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610403134.7
申请日：2016-06-08
Applicant: 南京理工大学
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02083
Abstract: 本发明公开了一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法，包括以下步骤：读取一组白光干涉条纹图像及系统参数，所述系统参数包括中心波长、光谱宽度和扫描步长；对于待测样品表面上任一像素点，取该像素点在该组白光干涉图像中的灰度值变化序列记为待测信号，然后根据系统参数及白光干涉原理生成参考信号；确定待测信号和参考信号的相关函数；对所得相关函数进行峰值检测，得到待测信号和参考信号之间的延迟量，延迟量与扫描步长相乘得到待测信号和参考信号之间的相对高度，进而确定每一个像素点的相对高度，复原得到待测样品表面的微观轮廓。本发明具有原理简单、检测精度高、抗噪声能力强等特点。
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