公开(公告)号：CN114812889B

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202210485232.5

申请日：2022-05-06

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 高志山 ,  金能 ,  车啸宇 ,  袁群 ,  郭珍艳 ,  刘威剑

IPC: G01L1/24 ,  G01L5/00

Abstract: 本发明提供了一种大口径光学应力检测装置及其检测方法，检测光路利用线偏振激光作为输入探测光，通过会聚透镜扩束后，再经过一个分光棱镜和一个大口径准直物镜准直入射大口径待测元件，然后由标准反射镜反射，再次穿过待测元件，经准直镜会聚和分光棱镜反射后再由准直镜准直，最终用偏振相机采集光强信息，通过后端数据处理，实现大口径样品中应力的可视化；与传统检测光路相比，该光路不需要波片，无需转动或移动任何部件，就可以实现大口径应力双折射的实时检测，避免了波片和运动平台引入的误差。该方法不需要借助拼接算法，可以同时得到整面大口径样品的应力分布，而且易于和现有的大口径干涉光路集成。

公开(公告)号：CN112525099B

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202011280227.8

申请日：2020-11-16

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 袁群 ,  第五蔻蔻 ,  高志山 ,  郭珍艳 ,  刘威剑 ,  车啸宇 ,  谢澎飞 ,  周俊涛

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种大口径平面干涉仪旋转平移法绝对检验的装置及方法，该装置包括碳化硅平面反射镜及其承载机构和平移机构；承载机构可以实现碳化硅平面反射镜的360°旋转，平移机构可以实现碳化硅平面反射镜及承载机构在水平方向上的位移。采用8次旋转加1次平移的方法对口径在600mm至2000mm之间的平面干涉仪进行绝对检验，使得绝对检验精度PV值优于百分之一波长。

公开(公告)号：CN112525099A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN202011280227.8

申请日：2020-11-16

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 袁群 ,  第五蔻蔻 ,  高志山 ,  郭珍艳 ,  刘威剑 ,  车啸宇 ,  谢澎飞 ,  周俊涛

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种大口径平面干涉仪旋转平移法绝对检验的装置及方法，该装置包括碳化硅平面反射镜及其承载机构和平移机构；承载机构可以实现碳化硅平面反射镜的360°旋转，平移机构可以实现碳化硅平面反射镜及承载机构在水平方向上的位移。采用8次旋转加1次平移的方法对口径在600mm至2000mm之间的平面干涉仪进行绝对检验，使得绝对检验精度PV值优于百分之一波长。

公开(公告)号：CN114812889A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210485232.5

申请日：2022-05-06

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 高志山 ,  金能 ,  车啸宇 ,  袁群 ,  郭珍艳 ,  刘威剑

IPC: G01L1/24 ,  G01L5/00

Abstract: 本发明提供了一种大口径光学应力检测装置及其检测方法，检测光路利用线偏振激光作为输入探测光，通过会聚透镜扩束后，再经过一个分光棱镜和一个大口径准直物镜准直入射大口径待测元件，然后由标准反射镜反射，再次穿过待测元件，经准直镜会聚和分光棱镜反射后再由准直镜准直，最终用偏振相机采集光强信息，通过后端数据处理，实现大口径样品中应力的可视化；与传统检测光路相比，该光路不需要波片，无需转动或移动任何部件，就可以实现大口径应力双折射的实时检测，避免了波片和运动平台引入的误差。该方法不需要借助拼接算法，可以同时得到整面大口径样品的应力分布，而且易于和现有的大口径干涉光路集成。