基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置

    公开(公告)号:CN106323981B

    公开(公告)日:2017-11-14

    申请号:CN201510348552.6

    申请日:2015-06-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置,包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构,对+1级衍射光实现调制,当光入射到样品表面,散射与反射同时发生,偏轴型波带片对反射光和散射光作用,反射光调制成轴向聚焦,散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD;光纤点衍射装置是为测试光提供参考光,并且参考光与测试光实现干涉,干涉图进入亮场CCD,通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单,抗振性好,精度高,系统成本低,并能同时对亮暗场分析,对位相缺陷及时定位和分析,并获取缺陷轮廓信息。

    基于入瞳扫描调制ePIE相位恢复算法

    公开(公告)号:CN106679586A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201611037046.6

    申请日:2016-11-23

    CPC classification number: G01B11/24

    Abstract: 本发明公开了一种基于入瞳扫描调制的ePIE相位恢复算法,基于搭建入瞳扫描调制交叠成像装置,调节可变大小的矩形框来改变入瞳,进而调制照明光,分别获得不加待测样品和加入待测样品时的衍射图样,引入扩展孔径替代实际孔径,利用两次ePIE算法,最终获得待测样品的相位信息。本发明具有无透镜成像,视场宽,收敛快,稳定性高的优点。

    一种多区域结构位相型波带片

    公开(公告)号:CN106405700A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201510487379.8

    申请日:2015-08-10

    Abstract: 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片,包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径 其中第一个环带的半径λ为工作波长,f为工作焦距;假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化,即gi(n)=ain+bi,其中ai和bi表示位置系数,ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下,相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸,带宽变宽更易于加工。

    基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置

    公开(公告)号:CN106323981A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201510348552.6

    申请日:2015-06-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置,包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构,对+1级衍射光实现调制,当光入射到样品表面,散射与反射同时发生,偏轴型波带片对反射光和散射光作用,反射光调制成轴向聚焦,散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD;光纤点衍射装置是为测试光提供参考光,并且参考光与测试光实现干涉,干涉图进入亮场CCD,通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单,抗振性好,精度高,系统成本低,并能同时对亮暗场分析,对位相缺陷及时定位和分析,并获取缺陷轮廓信息。

    一种小F数多波长标准球面参考透镜组

    公开(公告)号:CN106154362A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201510208487.7

    申请日:2015-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种小F数多波长标准球面参考透镜组,工作波长为632.8nm、543.5nm和532nm,采用色散低的冕牌玻璃ZK7和色散高的火石玻璃ZF6实现透镜组的消色差;采用3片式透镜设计,由双胶合正透镜、负透镜和最后一面为标准球面的正透镜构成;参考透镜组的口径、F数以及顶焦距设计理论值分别为100mm、F/3和254.7mm;参考透镜组中除最后一片镜面之外,各镜面均镀有632.8nm、543.5nm和532nm的三点增透膜;采用双胶合正透镜和负透镜组合,实现光路结构的近似无焦,降低了焦点与其末面曲率中心重合误差随镜间距变化的灵敏度,便于小 F 数标准球面透镜组的装调。

    太阳模拟器光学系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104914571A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201410090350.1

    申请日:2014-03-12

    CPC classification number: G02B27/0012 G02B17/06

    Abstract: 本发明公开了一种太阳模拟器光学系统,包括氙灯、椭球面聚光镜、第一平面反射镜、光学积分器、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜和外壳。氙灯位于椭球面聚光镜第一焦点处,光学积分器为对称式结构,由两组元素透镜阵列组成,前组透镜为积分器场镜,位于椭球面聚光镜的第二焦点处,后组透镜为积分器投影透镜,位于准直镜前焦面处;离轴抛物镜为系统准直镜。系统采用两块平面反射镜,可有效折叠光路,压缩光路尺寸;系统为离轴反射准直系统,光束准直角较大,辐射均匀性较高,且不存在输出光束中心遮拦问题;系统搭建的框架为镜像的“4”,这种光路结构可根据设计需求灵活地调节出射光束中心高度。

    一种球面面形旋转平移绝对检测方法

    公开(公告)号:CN104913730A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201410089712.5

    申请日:2014-03-12

    Abstract: 本发明公开了一种球面面形旋转平移绝对检测方法,利用被测球面旋转和平移的测量数据,采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法,构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程组,运用最小二乘法解得Zernike多项式的各项系数,从而获得被测球面和参考面的绝对面形,本方法把大数值孔径球面移相检测中存在的调整误差作为独立误差项,并把调整误差放入绝对检测过程中连同干涉仪系统误差一起在测试波面数据中去除,提高了运算精度,具有重要的应用价值。

    一种空间结构式太阳模拟器的光路结构

    公开(公告)号:CN106704898B

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201510486615.4

    申请日:2015-08-10

    Abstract: 本发明公开了一种空间结构式太阳模拟器的光路结构,包括氙灯、椭球聚光镜、第一平面反射镜、空间折转镜、光学积分器场镜、光学积分器投影镜组、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜。氙灯位于椭球聚光镜的第一焦点处;光学积分器场镜位于椭球聚光镜的第二焦点处,光学积分器投影镜组位于准直镜前焦面处;离轴抛物镜为系统准直镜。本发明的优点在于利用两块平面反射镜和一块空间折转镜,将传统的平面光路结构转化为空间结构,可有效折叠光路,压缩光路尺寸;此外将离轴抛物面反射镜从氙灯所在平面偏离出来,避免其他光学原件阻挡出射光,辐照中心高度有更大的调节范围。

    一种多区域结构位相型波带片

    公开(公告)号:CN106405700B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201510487379.8

    申请日:2015-08-10

    Abstract: 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片,包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径其中第一个环带的半径λ为工作波长,f为工作焦距;假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化,即gi(n)=ain+bi,其中ai和bi表示位置系数,ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下,相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸,带宽变宽更易于加工。

    基于人眼虹膜反射房水近红外光谱的无创血糖检测装置

    公开(公告)号:CN106691459A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201510486516.6

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种基于人眼虹膜反射房水近红外光谱的无创血糖检测装置,包括卤钨灯、带通滤光片、注视目标、近红外光谱仪、数据处理模块、人眼房水葡萄糖含量近红外光谱预测数学模型模块和LED屏。卤钨灯产生连续的近红外光束,经带通滤光片后以倾斜方向注入人眼。经人眼角膜和房水透射及虹膜反射后,出射的近红外光中包含房水内的葡萄糖含量信息。近红外光谱仪对出射的近红外光进行收集,并分析得到其光谱数据信息,并将其送入数据处理模块。数据处理模块对光谱数据信息进行预处理,将预处理后的数据送入人眼房水葡萄糖含量近红外光谱预测数学模型模块,得到准确的血糖值,并在LED屏上显示。本发明提高了近红外光谱仪入射信号的信噪比,提升了血糖检测的准确性。

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